[发明专利]机械手制动系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种制动系统，尤指一种机械手制动系统。

背景技术

现有的真空直驱机械手，在运行的过程中，如果切断机械手驱动系统的动力电，机械手将处于自由活动状态，阻尼很小。也就是说，当机械手在运行过程中，驱动系统的动力电被切断，或者驱动系统被拍急停时，由于现有的机械手没有制动电路，机械手将在惯性的作用下继续运行，其停止过程是不受控的，这在晶圆加工腔室中是不允许的，且由于机械手驱动系统的固有阻尼小，这个不可控的停止过程将会损坏晶圆或者其他加工设备。

发明内容

鉴于以上内容，有必要提供一种机械手制动系统。

一种机械手制动系统，所述机械手制动系统包括一动力电输入端、一控制电输入端及一接地端，所述机械手制动系统还包括一与所述动力电输入端相连的动力电控制单元、一与所述动力电控制单元、所述控制电输入端及所述接地端相连的继电单元、一与所述动力电控制单元、所述控制电输入端、所述接地端及所述继电单元相连的驱动控制单元及一连接于所述继电单元与所述驱动控制单元之间的电动机，所述继电单元与所述驱动控制单元形成一反馈回路，所述驱动控制单元通过所述动力电控制单元切断所述动力电输入端输入的动力电，所述继电单元将所述电动机由工作状态切换至制动状态，并将一指示所述电动机由工作状态至制动状态是否切换成功的反馈信号传送至所述驱动控制单元，所述驱动控制单元根据所述反馈信号控制所述电动机的转动。

相对现有技术，本发明在机械手中增加了制动系统，使得机械手的制动过程可控，增加了机械手断电后的阻尼，达到快速制动的效果，从而解决了机械手断电后自由飞轮的问题，并且在机械手制动系统中增加了反馈回路，提高了机械手制动系统制动过程的安全性。

附图说明

图1为本发明机械手制动系统较佳实施方式的结构示意图。

图2为本发明机械手制动系统较佳实施方式的电路图。

主要元件符号说明

  动力电输入端  10  驱动控制单元  20  驱动器  21  控制器  23  控制点输入端  30  电动机  40  接地端  50  动力电控制单元  70  继电单元  90  第一继电器  91  第二继电器  93  接触器  K  整流二极管  D1