[发明专利]用于预对准机的旋转装置有效

申请号：	201210002135.2	申请日：	2012-01-05
公开（公告）号：	CN103199033A	公开（公告）日：	2013-07-10
发明（设计）人：	李学威;曲道奎;徐方;温燕修;张鹏;王凤利;韩立志;何以刚	申请（专利权）人：	沈阳新松机器人自动化股份有限公司
主分类号：	H01L21/67	分类号：	H01L21/67;H01L21/68
代理公司：	沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002	代理人：	许宗富
地址：	110168 辽***	国省代码：	辽宁;21
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摘要：
搜索关键词：	用于对准旋转装置
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【说明书】：

技术领域

本发明涉及一种旋转装置，特别是指一种用于预对准机的旋转装置。

背景技术

随着科技的发展，工业生产规模越来越大，人力成本会增加，且效率要求也会越来越高。渐渐的在工厂中大量引入自动化工具，如机器人等工具组装产品。在晶圆组装过程中，首先要识别晶圆的安装缺口，机械手先将晶圆放在预对准机的撑托上，再通过卡爪夹持晶圆并上升，使晶圆高出撑托所在平面，旋转晶圆使其缺口朝向一预定位置。但在将晶圆从卡爪放到撑托上时，若卡爪与撑托处于同一位置，两者会发生干涉而阻碍两者在竖直方向上的相对运动。

发明内容

鉴于以上内容，有必要提供一种避免干涉的旋转装置。

一种用于预对准机的旋转装置，包括有卡爪轴、及位于所述卡爪轴外侧的撑托轴，所述撑托轴开设有导向槽，所述旋转装置还包括定向离合器，所述定向离合器的内轴与所述卡爪轴键连接，并在其外轴上固定有滚子，所述滚子卡在所述导向槽中，所述撑托轴能够通过所述定向离合器在所述卡爪轴沿第一方向转动时一起转动、并且能够通过所述定向离合器在所述卡爪轴沿与第一方向相反的第二方向转动时不随之转动。

在一实施方式中，所述卡爪轴、所述撑托轴及所述定向离合器具有相同的中心线，且所述定向离合器位于所述卡爪轴及所述撑托轴之间。

在一实施方式中，所述定向离合器的外轴设有对称的若干凸台，所述滚子设于所述凸台上。

在一实施方式中，所述卡爪轴上一端设有能够支撑圆形物体的三卡爪，所述三卡爪呈中心对称、且其对称中心位于与所述卡爪轴的中心线上。

在一实施方式中，所述卡爪轴的另一端上设有一用以输入运动的带轮，所述带轮与所述卡爪轴具有相同的中心线。

在一实施方式中，所述撑托轴在设有所述导向槽的一端设有能够支撑圆形物体的三撑托，所述三撑托呈中心对称、且其对称中心位于与所述撑托轴的中心线上。

在一实施方式中，所述撑托轴在另一端的外轴上设有单向轴承，所述单向轴承使所述撑托轴只能沿第一方向转动。

在一实施方式中，所述三卡爪在垂直于所述中心线所在平面上的投影与所述三撑托在垂直于所述中心线所述在平面上的投影大致在同一圆上。

在一实施方式中，所述撑托轴在沿中心线方向上的高度小于所述卡爪轴在沿中心线方向的高度。

在一实施方式中，所述卡爪轴可相对所述定向离合器及所述撑托轴沿中心线方向移动。

与现有技术相比，上述旋转装置中，当所述卡爪轴与所述撑托轴具有干涉时，驱使所述卡爪轴沿第一方向转动，所述撑托轴通过所述定向离合器也沿第一方向转动，从而离开干涉区域，再驱使所述卡爪轴沿与第一方向相反的第二方向转动，使其回到干涉区域处，从而解决干涉问题。

附图说明

图1是本发明用于预对准机的旋转装置一实施例的立体组装图，其中未显示单向轴承。