[发明专利]夹持装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种生产制造的辅助装置，特别是指一种用于夹持的生产制造的辅助装置。

背景技术

随着科技的发展，工业生产规模越来越大，因此人力成本会增加，且效率要求也越来越高，渐渐的在工厂中大量引入自动化工具，如使用机器人等工具组装产品。在晶圆的组装过程中，难免会对晶圆夹持，对于晶圆夹持大多采取使其中一个爪径向移动的方式来进行，而这种方式存在的问题是，预对准的过程中晶圆首先被放置在预对准机的撑托上，而后卡爪上升承接晶圆并高出撑托，之后再夹紧晶圆，若采用三爪式并使其中一爪可动，而其他两爪不可动，也就是说，其他两爪无论夹紧还是松开晶圆，都始终保持一种状态，这样，当卡爪上升时完全有可能将晶圆顶起，造成无法夹持晶圆的后果。另外，有些采用二爪或四爪对称两相对移动的方式夹持晶圆边缘，这样晶圆边缘只受来自相反的两个方向上的力，受力不均。

发明内容

鉴于以上内容，有必要提供一种能够均匀夹持的夹持装置。

一种夹持装置，包括有卡爪轴、及相对所述卡爪轴的中心线对称设置的两滑台，所述两滑台分别设有一可滑动的滑杆，所述夹持装置还包括有长度相同的四卡爪臂及接触单元，所述四卡爪臂分别旋转固定在所述两滑台的两侧，所述四卡爪臂各自设有一夹持单元，所述四夹持单元相对所述卡爪轴的中心线呈中心对称，所述两滑杆分别连接有一推力杆，所述推力杆的相对两端分别弹性连接至一所述卡爪臂，所述两滑杆之间滑动夹持所述接触单元，所述四夹持单元至所述卡爪轴中心线的距离通过所述接触单元沿所述卡爪轴的中心线方向移动而同时改变。

在一实施方式中，所述两滑台上设有四立柱，所述四立柱呈中心对称、且对称中心落在所述卡爪轴的中心线上。

在一实施方式中，所述四卡爪臂的的一端分别旋转固定在一所述立柱上。

在一实施方式中，所述夹持单元设于所述卡爪臂的另一端。

在一实施方式中，所述推力杆两端分别设有推力滚子，所述推力滚子与所述卡爪臂通过弹性件连接。

在一实施方式中，所述两滑杆在靠近所述接触单元一端分别设有一导向滚子，所述导向滚子通过弹性件连接并接触所述接触单元的相对两侧。

在一实施方式中，所述接触单元接触所述导向滚子的两侧呈斜面。

在一实施方式中，所述接触单元一端还设有拉杆，所述拉杆用以驱使所述接触单元沿所述卡爪轴的中心线方向移动。

在一实施方式中，所述推力杆的方向与所述滑杆垂直。

与现有技术相比，上述夹持装置中，通过驱使所述接触单元在沿卡爪轴的方向移动，带动所述滑杆滑动，迫使所述推力杆移动从而带动所述四卡爪臂转动，使得四夹持单元至所述四卡爪臂延伸相交点的长度同时增大或者减小，由此，需夹持物体时，可先同时张开所述卡爪臂、再同时收缩所述卡爪臂夹持物体、便可提供均匀力。

附图说明

图1是本发明夹持装置的一较佳实施方式的一立体组装图。

图2是图1中的一切割图。

图3是本发明一较佳实施方式中接触单元与拉杆、导向滚子连接关系图。

图4是图1的一立体组装图，其中所述接触单元沿中心线向下移动。

图5是图1的一立体组装图，其中所述接触单元沿中心线向上移动。

图6是本发明另一较佳实施方式中接触单元与拉杆、导向滚子连接关系图。

图7是本发明另一较佳实施方式的一立体组装图，其中所述接触单元沿中心线向下移动。

图8是本发明另一较佳实施方式的一立体组装图，其中所述接触单元沿中心线向上移动。

主要元件符号说明