[发明专利]一种偏置平板的调整装置有效
| 申请号： | 201210005087.2 | 申请日： | 2012-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN103197519A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 章富平;鲁武旺;李志丹 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 偏置 平板 调整 装置 | ||
1.一种偏置平板的调整装置，设于调焦调平主框架板上用于调整偏置平板的角度，其特征在于，包括平面连杆机构和旋转电机，所述旋转电机固定设置于调焦调平主框架板上，所述偏置平板与所述调焦调平主框架板活动连接，所述旋转电机经所述平面连杆机构带动所述偏置平板旋转。
2.根据权利要求1所述的偏置平板的调整装置，其特征在于，所述平面连杆机构包括第一连杆、第二连杆和第三连杆，所述第二连杆的两端分别与所述第一连杆的一端和所述第三连杆的一端活动连接，所述第一连杆的另一端与所述旋转电机的旋转轴固定连接，所述第三连杆的另一端与所述偏置平板固定连接。
3.根据权利要求2所述的偏置平板的调整装置，其特征在于，所述第一连杆、第二连杆、第三连杆和调焦调平主框架板构成封闭矢量多边形。
4.根据权利要求3所述的偏置平板的调整装置，其特征在于，所述旋转电机的转角是所述第二连杆的转角是所述偏置平板的相应转角是所述第一连杆、第二连杆和第三连杆的杆长分别是l1、l2和l3，所述第一连杆和所述旋转电机的旋转轴之间的固定连接点与所述第三连杆和所述偏置平板之间的固定连接点之间距离是l4，所述偏置平板的相应转角满足公式式中系数
5.根据权利要求2所述的偏置平板的调整装置，其特征在于，所述第三连杆的一端与所述偏置平板的侧面固定连接，所述第三连杆和所述偏置平板相互平行且中心线重合。
6.根据权利要求2中所述的偏置平板的调整装置，其特征在于，所述第二连杆的两端分别与所述第一连杆的一端和所述第三连杆的一端铰接。
7.根据权利要求1～6中任意一项所述的偏置平板的调整装置，其特征在于，所述偏置平板与所述调焦调平主框架板的活动连接部位位于所述偏置平板的中部。
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