[发明专利]一种偏置平板的调整装置

说明书

技术领域

本发明涉及调整装置，尤其涉及一种偏置平板的调整装置。

背景技术

随着半导体工艺日益趋于精密化和生产力要求的不断提高，半导体制造设备的精密性不断提升，相应的，对产品的检测仪器的精密性要求也不断提高。在投影光刻系统中，为了对硅片的表面进行高精度的检测，需要调焦调平系统测量硅片上表面的高度与倾斜信息。

在调焦调平系统的测量过程中，当投影物镜焦面发生漂移后，若不对其焦面位置进行校正补偿，会使调焦调平的测量点中心与投影物镜曝光视场不重合，引起测量误差。这种情况下为了校正补偿，采用在光路中加一个偏置平板，并通过对偏置平板旋转角度的调整来实现对焦面位置漂移的校正和补偿。目前所常用的两种偏置平板的调整装置的结构如图1和图2所示：

如图1所示，旋转电机102直接带动偏置平板101旋转。该调整装置的不足之处在于，由于偏置平板101是直接由旋转电机102带动做旋转运动，此种方式直接导致目前的一般电机无法满足调整偏置平板所需的旋转精度。

如图2所示，偏置平板201与杠杆202连接，杠杆202的一端架设在凸轮203顶端，杠杆202的另一端与弹簧205连接，通过步进电机(未图示)驱动凸轮203绕凸轮轴204旋转来带动杠杆202移动。由于凸轮轴204到凸轮203边缘的距离是变化的，因此，当凸轮203绕凸轮轴204旋转180°时，杠杆202及偏置平板201的位置从图2中的实线位置移动到虚线位置，从而达到利用凸轮203的旋转控制偏置平板201的旋转角的目的。此调整装置的不足之处在于凸轮加工复杂，制造成本过高。

于2010年10月20日公开的公开号是CN201611424U的中国发明专利针对图2的结构进行了改进，其结构如图3所示，该装置采用具有楔面306的柱体303代替图2中的凸轮，从而降低了加工制造难度，但该装置对旋转电机的精度要求依然比较高。

因此，如何提供一种可以有效降低对旋转电机的精度要求的偏置平板的调整装置是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供偏置平板的调整装置，可以有效降低对旋转电机的精度要求，可以降低制造成本，还可以提高可靠性。

为了达到上述的目的，本发明采用如下技术方案：

一种偏置平板的调整装置，设于调焦调平主框架板上用于调整偏置平板的角度，包括平面连杆机构和旋转电机，所述旋转电机固定设置于调焦调平主框架板上，所述偏置平板与所述调焦调平主框架板活动连接，所述旋转电机经所述平面连杆机构带动所述偏置平板旋转。

所述平面连杆机构包括第一连杆、第二连杆和第三连杆，所述第二连杆的两端分别与所述第一连杆的一端和所述第三连杆的一端活动连接，所述第一连杆的另一端与所述旋转电机的旋转轴固定连接，所述第三连杆的另一端与所述偏置平板固定连接。

所述第一连杆、第二连杆、第三连杆和调焦调平主框架板构成封闭矢量多边形。

所述旋转电机的转角是所述第二连杆的转角是所述偏置平板的相应转角是所述第一连杆、第二连杆和第三连杆的杆长分别是l₁、l₂和l₃，所述第一连杆和所述旋转电机的旋转轴之间的固定连接点与所述第三连杆和所述偏置平板之间的固定连接点之间距离是l₄，所述偏置平板的相应转角满足公式式中系数C=(A2+B2+l32-l22)/2l3.]]>

所述第三连杆的一端与所述偏置平板的侧面固定连接，所述第三连杆和所述偏置平板相互平行且中心线重合。

所述第二连杆的两端分别与所述第一连杆的一端和所述第三连杆的一端铰接。

所述偏置平板与所述调焦调平主框架板的活动连接部位位于所述偏置平板的中部。