[发明专利]一种透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统

权利要求书

1.一种透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统，其特征在于，包括镀膜室，所述镀膜室通过镀膜室顶板和镀膜室端板形成腔体，在所述端板外侧设有真空隔离阀；在所述腔体顶板上安装有一阴极挡板，在所述阴极挡板上安装阴极磁控溅射装置，所述阴极磁控溅射装置利用磁控溅射进行镀膜，在所述腔体顶板上还安装抽气装置，将所述腔体内部形成真空；在所述腔体中设置辊道装置，所述辊道装置用以传送玻璃；还包括加热冷却系统，所述加热冷却系统分别设置在所述辊道装置的下方并固定所述腔体的主底板上以及所述阴极磁控溅射装置和所述抽气装置之间，所述加热冷却系统包括加热器和冷却器，用以加热所述腔体和冷却元件，所述冷却器设置在所述加热器的外侧。

2.根据权利要求1所述的透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统，其特征在于，所述抽气装置包括前级泵和主泵。

3.根据权利要求1或2所述的透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统，其特征在于，所述抽气装置包括磁悬浮分子泵、低温泵、旋片机械泵以及干泵。

4.根据权利要求1所述的透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统，其特征在于，所述加热器的背面设置有抛光反射板，用以遮挡所述加热器产生的热量。

5.根据权利要求1所述的透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统，其特征在于，所述冷却器包括冷却铜管和冷却铝板，所述冷却铜管固定在所述冷却铝板上。

6.根据权利要求1所述的透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统，其特征在于，所述腔体的主底板下焊接井字板和凹槽型加强筋。

7.根据权利要求1所述的透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统，其特征在于，在所述腔体的顶板上焊接筋板。

8.根据权利要求1所述的透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统，其特征在于，所述辊道装置包括辊道，所述辊道的间距为200mm。

9.根据权利要求1所述的透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统，其特征在于，在所述抽气装置和所述腔体间安装冷却装置，用以降低所述抽气装置的进气口的气体温度。

10.根据权利要求1所述的透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统，其特征在于，还包括用以测试腔体真空度的复合规，所述复合规安装在所述腔体外部并且与所述腔体相连通；还包括用以测试靶位附近真空度的靶位规，所述靶位规与所述阴极磁控溅射装置相连通并安装在所述腔体外部与所述靶位相对。