[发明专利]一种透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统

说明书

技术领域

本发明涉及玻璃镀膜领域，尤其涉及一种透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统。

背景技术

透明导电氧化物镀膜玻璃（transparent conducting oxide,简称TCO），是在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜的方法均匀地镀上一层透明的导电氧化物玻璃。太阳能电池（光伏电池）主要分为晶体硅电池和薄膜电池，当前晶体硅占整个光伏市场80％的份额，薄膜电池占比约20％。晶硅电池制造时要消耗大量电能和硅材料，而薄膜太阳能电池厚度只有几微米到几十微米，消耗材料是晶硅电池的1%，适用范围广，可节省大量硅材料，采用合适的生产工艺，可进行大面积沉积，大大提高生产效率，降低生产成本，因此薄膜太阳能电池被认为是发展前景最为光明的新型太阳能电池。薄膜太阳能电池（thin-film pv）是将半导体薄膜沉积在载体上形成的电池，在光照条件下，半导体薄膜可以利用光升伏打效应将光能转化为电能，并通过前电极与背电极将电能输出。对于薄膜太阳能电池来说，由于中间半导体层几乎没有横向导电性能，因此必须使用TCO玻璃有效收集电池的电流，同时TCO薄膜具有高透和减反射的功能让大部分光进入吸收层，TCO玻璃作为薄膜太阳能电池的前电极，是其不可缺失的一部分。其中，TCO镀膜技术包括在线镀膜，所谓在线镀膜，就是在生产玻璃的过程中进行镀膜，一般采用化学气相沉积工艺镀膜，虽然工艺设备简单，但是在其镀膜过程中，容易产生有害气体，增加了生产成本。

发明内容

针对上述存在的问题，本发明的目的是提供一种透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统，利用磁控溅射法镀膜，而且镀膜工艺实在真空条件下完成，获得的膜层纯度高，没有有害气体产生，为离线镀膜工艺提供了真空、磁场、加热及传动环境。

本发明的目的是通过下述技术方案实现的：

一种透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统，其中，包括镀膜室，所述镀膜室通过镀膜室顶板和镀膜室端板形成腔体，在所述端板外侧设有真空隔离阀；在所述腔体顶板上安装有一阴极挡板，在所述阴极挡板上安装阴极磁控溅射装置，所述阴极磁控溅射装置利用磁控溅射进行镀膜，在所述腔体顶板上还安装抽气装置，将所述腔体内部形成真空；在所述腔体中设置辊道装置，所述辊道装置用以传送玻璃；还包括加热冷却系统，所述加热冷却系统分别设置在所述辊道装置的下方并固定所述腔体的主底板上以及所述阴极磁控溅射装置和所述抽气装置之间，所述加热冷却系统包括加热器和冷却器，用以加热所述腔体和冷却元件，所述冷却器设置在所述加热器的外侧。

上述的透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统，其中，所述抽气装置包括前级泵和主泵。

上述的透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统，其中，所述抽气装置包括磁悬浮分子泵、低温泵、旋片机械泵以及干泵。

上述的透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统，其中，所述加热器的背面设置有抛光反射板，用以遮挡所述加热器产生的热量。

上述的透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统，其中，所述冷却器包括冷却铜管和冷却铝板，所述冷却铜管固定在所述冷却铝板上。

上述的透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统，其中，所述腔体的主底板下焊接井字板和凹槽型加强筋。

上述的透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统，其中，在所述腔体的顶板上焊接筋板。

上述的透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统，其中，所述辊道装置包括辊道，所述辊道的间距为200mm。

上述的透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统，其中，在所述抽气装置和所述腔体间安装冷却装置，用以降低所述抽气装置的进气口的气体温度。

上述的透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统，其中，还包括用以测试腔体真空度的复合规，所述复合规安装在所述腔体外部并且与所述腔体相连通；还包括用以测试靶位附近真空度的靶位规，所述靶位规与所述阴极磁控溅射装置相连通并安装在所述腔体外部与所述靶位相对。

与已有技术相比，本发明的有益效果在于：

利用多种不同类型的主泵和前级泵组成复合的抽气装置，保证镀膜室腔体的真空状态；另外，通过磁控溅射装置，提供镀膜工艺的磁控溅射工艺。本发明还包括加热冷却系统，利用加热冷却系统，为镀膜室腔体提供和保障镀膜必须的温度，同时，利用冷却装置能够保证加热区中面加热的元件的温度下降至自身合适的耐温范围内，延长元件的使用寿命。总之，通过在腔体中设置传动装置、磁控溅射装置以及加热冷却系统和抽气装置提供了镀膜室必须的真空，磁场，加热及传动的需求。

附图说明