[发明专利]高铁含量的三维立体蒸镀掩模板

权利要求书

1.一种高铁含量的三维立体蒸镀掩模板蒸镀掩模板，包括图形开口区域，其特征在于，具有三维立体结构，所述三维立体结构由凹陷区域和凸起区域构成，所述凹陷区域为比掩模板板面低的凹陷结构，所述凸起区域比掩模板板面高的凸起结构；所述掩模板的材料包括铁和镍两种元素构成；所述铁元素的含量为56%～62%，所述镍元素的含量为38%～44%。

2.根据权利要求1所述的蒸镀掩模板，其特征在于，所述铁含量为56%，镍的含量为44%。

3.根据权利要求1所述的蒸镀掩模板，其特征在于，所述铁含量为60%，镍的含量为40%。

4.根据权利要求1所述的蒸镀掩模板，其特征在于，所述铁含量为62%，镍的含量为38%。

5.根据权利要求1所述的蒸镀掩模板，其特征在于，所述凹陷区域在掩模板的一面，所述凸起区域在掩模板的另一面，所述凹陷区小于所述凸起区域。

6.根据权利要求1所述的蒸镀掩模板，其特征在于，所述的凹陷区域的深度≤10μm，凸起区域的高度≤10μm。

7.根据权利要求6所述的蒸镀掩模板，其特征在于，所述的凹陷区域的深度≤1μm，凸起区域的高度≤1μm。

8.根据权利要求1所述的蒸镀掩模板，其特征在于，所述的图形开口尺寸为0.01-0.5mm。

9.根据权利要求8所述的蒸镀掩模板，其特征在于，所述的图形开口尺寸为10-100μm。

10.根据权利要求1-9任一项所述的蒸镀掩模板，其特征在于，所述凹陷区域与掩模板板面形成夹角的范围为80⁰～90⁰，所述凸起区域与掩模板板面形成夹角的范围为80⁰～90⁰。

11.    根据权利要求1-9任一项所述的蒸镀掩模板，其特征在于，所述掩模板的厚度为20～100μm，所述的镍铁合金镀层的均匀性COV小于5%；所述的镍铁合金镀层表面光亮度为一级光亮。