[发明专利]高铁含量的三维立体蒸镀掩模板

说明书

技术领域

本发明涉及一种三维立体蒸镀掩模板, 属于OLED制作领域。

背景技术

OLED，即有机发光二极管，又称有机电激光显示。OLED显示技术与传统的LED显示方式不同，无需背光灯，采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基层，当有电流通过时，这些有机材料就会发光。而且OLED显示屏幕可以做得更轻更薄，可视角度更大，并且能够显著节省电能。OLED的优良性能使得其配件—掩模板得到了前所未有的发展空间。通常，在制造发光显示器时，掩模被用来沉积具有预定图形的层，即当沉积诸如有机层的层时，利用具有特定图形的孔的掩模，在基底上形成具有对应与孔的图形的层。目前比较普遍的是平面金属掩模板，但随着科学技术的日新月异，电子元器件的功能需求也朝着多元化，特殊化方向发展，相应转移用平面蒸镀掩模板已不能满足这一要求。

在过去的金属掩模板制造过程中，由于曝光时掩模的精度和蚀刻的精度对作为最终制品的金属掩模额度图案精度影响很大，故在各工序中必须高精度地管理图形的尺寸精度。可是在过去的制造中，由于在线膨胀系数大的铬、不锈钢等的金属上形成金属掩模板，所以产生于金属材料上的微小温差使制得的每个金属掩模的尺寸精度不同，存在很难获得相同尺寸精度的金属掩模的问题。从材质来讲，一般在线膨胀系数大的金属上形成的金属掩模板，产生于金属材料上的微小温差使制得的每个金属掩模的尺寸精度不同，存在很难获得相同尺寸精度的金属掩模的问题。而镍铁合金则因为加入了铁元素，从而提高了掩模板的硬度及磁性，并且在该范围内，铁含量越高，掩模板的热膨胀系数越低，应用于蒸镀工艺过程时，有机材料的蒸镀位置进度越高。因瓦合金通常含有32%-36%的镍，因瓦合金也叫不胀钢，其平均膨胀系数一般为1.5×10-6℃。含镍在36%时达到1.8 ×10-8℃，且在室温－80℃到100℃时均不发生变化。含镍量在一定范围内的增减会引起铁、镍合金线膨胀系数的急剧变化。因此对于精度要求很高的蒸镀用掩模板，因瓦合金是首选的材料。其他材料均会因为在蒸镀过程中受热而膨胀影响精度，从而大大影响了产品质量。

但同时因瓦合金都是采用熔炼的方法获得的，耗能高，技术要求高，因而价格也是相当高。严重限制了因瓦合金的发展前景。

因此，现有技术的平面蒸镀掩模板，及用于蒸镀掩模板的材料，严重阻碍了发光显示器的发展。用现有技术的平面蒸镀掩模板生产的发光显示器满足不了市场对其的高要求。

 

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种高铁含量的三维立体蒸镀掩模板,具有凹陷区域和凸起区域，且包括铁和镍两种元素，该掩模板精度高、均匀性高，板面质量和开口质量好，线性热膨胀系数极小，很好地满足蒸镀要求。

为了解决上述技术问题，本发明采取的技术方案如下：

一种高铁含量的三维立体蒸镀掩模板，包括图形开口区域，其特征在于，具有三维立体结构，所述三维立体结构由凹陷区域和凸起区域构成，所述凹陷区域为比掩模板板面低的凹陷结构，所述凸起区域比掩模板板面高的凸起结构；所述掩模板的材料包括铁和镍两种元素；所述铁元素的含量为56%～62%，所述镍元素的含量为38%～44%。

优选的，所述铁含量为56%，镍的含量为44%。

更优选的，所述铁含量为60%，镍的含量为40%。

更优选的，所述铁含量为62%，镍的含量为38%。

所述凹陷区域在掩模板的一面，所述凸起区域在掩模板的另一面，所述凹陷区小于所述凸起区域。

优选的，所述的凹陷区域的深度≤10μm，凸起区域的高度≤10μm。

更优选的，所述的凹陷区域的深度≤1μm，凸起区域的高度≤1μm。

优选的，所述的图形开口尺寸为0.01-0.5mm。

更优选的，所述的图形开口尺寸为10-200μm。

所述凹陷区域与掩模板板面形成夹角的范围为80⁰～90⁰，所述凸起区域与掩模板板面形成夹角的范围为80⁰～90⁰。

    所述掩模板的厚度为20～100μm，所述的镍铁合金镀层的均匀性COV小于5%；所述的镍铁合金镀层表面光亮度为一级光亮。