[发明专利]光刻设备和器件制造方法

权利要求书

1.一种光刻设备，包括：

(a)用于容纳物体的载物台；

(b)用于移动所述载物台的致动器；

(c)用于将所述物体转移至所述载物台或从所述载物台转移物体的输送装置；

(d)与所述致动器和/或所述输送装置可操作地连接的控制器，其中所述控制器被编程和/或布置以驱动所述致动器和所述输送装置，以便使得在沿着所述物体转移至所述载物台或从所述载物台转移所述物体的转移方向的转移期间所述载物台和所述输送装置在垂直于转移方向的方向基本上相互跟随。

2.根据权利要求1所述的光刻设备，其中所述输送装置被构造和布置成沿着所述转移方向移动所述物体，所述控制器被布置成沿着垂直于所述转移方向的方向驱动所述致动器，以便沿着所述垂直方向跟随所述输送装置的移动。

3.根据权利要求1所述的光刻设备，其中所述输送装置被构造和布置成在沿着所述转移方向移动所述物体的同时沿着垂直于所述转移方向的方向跟随所述载物台。

4.根据权利要求1或2所述的光刻设备，其中所述致动器包括短行程致动器和长行程致动器。

5.根据权利要求4所述的光刻设备，其中所述输送装置被安装在能够借助于所述长行程电机移动的长行程框架上。

6.根据权利要求4或5所述的光刻设备，其中所述控制器包括短行程控制器，用于控制所述短行程致动器使得所述载物台跟随所述输送装置。

7.根据权利要求6所述的光刻设备，其中所述短行程控制器设置有输入端，所述输入端用于接收表示所述长行程框架相对于预先编程的位置的位置误差的输入信号。

8.根据权利要求7所述的光刻设备，其中所述长行程的位置误差沿着垂直于所述转移方向的X和Y方向和围绕所述转移方向的旋转方向(RZ)。

9.根据权利要求6或7所述的光刻设备，其中所述短行程控制器包括用于计算输出信号的计算器，以作为表示所述长行程的位置误差的输入信号的函数来控制所述短行程致动器。

10.根据权利要求9所述的光刻设备，其中所述短行程控制器的所述计算器被构造成计算在垂直于所述转移方向的X和Y方向上和在围绕所述转移方向的旋转方向(RZ)上的输出信号，以作为表示所述长行程的位置误差的输入信号的函数来控制所述短行程致动器。

11.根据权利要求9或10所述的光刻设备，其中所述计算器被编程和/或布置以计算表示所述长行程电机的位置误差的输入信号的一阶导数、二阶导数、三阶导数和四阶导数，以计算输出信号用于控制所述短行程致动器。

12.根据权利要求11所述的光刻设备，其中所述短行程控制器被以用于所述一阶导数、二阶导数、三阶导数和四阶导数的3×3增益矩阵编程和/或布置来计算用于控制所述短行程致动器的输出信号。

13.根据权利要求5-12中任一项所述的光刻设备，其中所述光刻设备设置有差分位置传感器，用于测量所述载物台相对于所述长行程框架的位置。

14.根据权利要求12所述的光刻设备，其中所述短行程控制器设置有与所述差分位置传感器相连接的输入端。

15.一种器件制造方法，包括步骤：

(a)沿着转移方向将物体从输送装置转移至载物台或将物体从载物台转移至输送装置；

(b)在转移期间沿着垂直于所述转移方向的方向控制所述输送装置和/或所述载物台的位置，使得所述载物台和所述输送装置在垂直于所述转移方向的方向上相互跟随。