[发明专利]光刻设备和器件制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种光刻设备和一种制造器件的方法。

背景技术

光刻设备是一种将期望图案应用到衬底上(通常应用到所述衬底的目标部分上)的机器。例如，可以将光刻设备用在集成电路(IC)的制造中。在这种情况下，可以将可替代地称为掩模或掩模版的图案形成装置用于生成待形成在所述IC的单层上的电路图案。可以将该图案转移到衬底(例如，硅晶片)上的目标部分(例如，包括一部分管芯、一个或多个管芯)上。典型地，经由成像将所述图案转移到在所述衬底上设置的辐射敏感材料(抗蚀剂)层上。通常，单个衬底将包含连续形成了图案的相邻目标部分的网络。公知的光刻设备包括：所谓的步进机，在所述步进机中，通过将整个图案一次曝光到所述目标部分上来辐射每一单个目标部分；以及所谓的扫描器，在所述扫描器中，通过辐射束沿给定方向(“扫描”方向)扫描所述图案、同时沿与该方向平行或反向平行的方向同步扫描所述衬底来辐射每一个目标部分。还可以通过将所述图案压印到所述衬底上，而将所述图案从所述图案形成装置转移到所述衬底上。

光刻设备包括用于容纳物体的载物台。所述设备设置有用于移动载物台的致动器和用于将物体移动至载物台或从载物台移动物体的输送装置。载物台和输送装置之间的振动可能不利地影响所述设备。

发明内容

期望最小化载物台和输送装置之间的振动效应。

根据本发明的实施例，提供了一种光刻设备，包括：用于容纳物体的载物台；用于移动所述载物台的致动器；用于将所述物体转移至所述载物台或从所述载物台转移物体的输送装置；和与所述致动器和/或所述输送装置可操作地连接的控制器。所述控制器被编程和/或布置以驱动所述致动器和所述输送装置，以便使得在沿着所述物体转移至所述载物台或从所述载物台转移所述物体的转移方向的转移期间所述载物台和所述输送装置在垂直于转移方向的方向基本上相互跟随(follow each other)。

根据本发明的另一实施例，提供了一种器件制造方法，包括：沿着转移方向将物体从输送装置转移至载物台，反之亦然(从载物台将物体转移至输送装置)；和在转移期间沿着垂直于所述转移方向的方向控制所述输送装置和/或所述载物台的位置。载物台和所述输送装置在垂直于所述转移方向的方向上相互跟随。

本发明的另外的特征和优点，以及本发明的各实施例的结构和操作被在下文关于附图进行了详细描述。注意到，本发明不限于此处描述的特定实施例。此处显示这样的实施例仅是为了说明目的。相关领域的技术人员将基于此处包含的教导明白另外的实施例。

附图说明

此处并入说明书且形成了说明书的一部分的附图示出了本发明，且与所述描述一起进一步用于说明本发明的原理，和使相关领域的技术人员能够制造和使用本发明。

图1示出根据本发明的一实施例的光刻设备。

图2示出了根据本发明的一实施例的光刻设备的细节。

图3公开了根据本发明的一实施例的用于控制器的控制方案。

图4公开了根据本发明的一实施例的控制器的示意图。

结合附图通过下文阐述的详细描述，将更加明白本发明的特征和优点，在附图中相同的附图标记在全文中表示对应的元件。在附图中，相同的附图标记通常表示相同的、功能类似的和/或结构类似的元件。元件首次出现的附图用相应的附图标记中最左边的数字表示。

具体实施方式

本说明书公开了包括本发明的特征的一个或更多的实施例。所公开的实施例仅示例性说明本发明。本发明的范围不限于所公开的实施例。本发明由随附的权利要求限定。

所描述的实施例和在说明书中对“一个实施例”、“实施例”、“示例性实施例”等的提及表示所述的实施例可以包括特定的特征、结构或特点，但是每个实施例不一定包括特定的特征、结构或特点。此外，这些措词不必表示同一实施例。此外，当特定特征、结构或特点被关于实施例进行描述时，应该理解，无论是否明确描述，结合其他的实施例实现这样特征、结构或特点在本领域技术人员的知识范围内。