[发明专利]一种氮化物半导体激光器无效
申请号: | 201210012561.4 | 申请日: | 2012-01-16 |
公开(公告)号: | CN102570308A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 冯美鑫;张书明;刘建平;李增成;杨辉 | 申请(专利权)人: | 苏州纳睿光电有限公司 |
主分类号: | H01S5/343 | 分类号: | H01S5/343;H01S5/20 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 陶海锋;陆金星 |
地址: | 215123 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氮化物 半导体激光器 | ||
1.一种氮化物半导体激光器,其特征在于,从下至上依次包括GaN衬底(1),n-GaN层(2),n-AlGaN/GaN超晶格限制层(3),下InxGa1-xN渐变波导层(4b),InGaN/GaN多量子阱有源区(5),上InyGa1-yN渐变波导层(6b),p-AlGaN电子阻挡层(7),p-AlGaN/GaN超晶格限制层(8),p-GaN接触层(9);
所述下InxGa1-xN渐变波导层(4b)中,从下至上In组分含量逐渐增加;
所述上InyGa1-yN渐变波导层(6b)中,从下至上In组分含量逐渐减少。
2.根据权利要求1所述的氮化物半导体激光器,其特征在于:从下至上,所述下InxGa1-xN渐变波导层(4b)为一层In组分含量渐增的InGaN波导层;或者,所述下InxGa1-xN渐变波导层(4b)包括至少3层InGaN波导层,且从下至上各层的In组分含量逐渐增加。
3.根据权利要求1所述的氮化物半导体激光器,其特征在于:从下至上,所述上InyGa1-yN渐变波导层(6b)为一层In组分含量渐减的InGaN波导层;或者,所述上InyGa1-yN渐变波导层(6b)包括至少3层InGaN波导层,且从下至上各层的In组分含量逐渐减少。
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