[发明专利]酸性电镀铜溶液氯离子替代方法

权利要求书

1.一种酸性电镀铜溶液氯离子替代方法，特征在于：其使用含磷物质作为电镀铜氯离子替代剂添加至镀液中。

2.根据权利要求1所述的一种酸性电镀铜溶液氯离子替代方法，其特征在于：含磷物质为无机含磷物质和/或有机含磷物质；无机含磷物质添加至镀液中后的浓度为0.005-150克/升，有机含磷物质添加至镀液中后的浓度为0.015-15克/升。

3.根据权利要求2所述的一种酸性电镀铜溶液氯离子替代方法，其特征在于：无机含磷物质为磷酸，磷酸的钠盐、钾盐、铵盐，焦磷酸，焦磷酸的钠盐、钾盐、铵盐。

4.根据权利要求2所述的一种酸性电镀铜溶液氯离子替代方法，其特征在于：有机含磷物质为氨基三甲叉膦酸、乙二胺四甲叉膦酸钠、2-膦酸丁烷-1，2，4-三羧酸、二乙烯三胺五甲叉膦酸、羟基亚乙基二膦酸、己二胺四甲叉膦酸、双1，6-亚己基三胺五甲叉膦酸钠。

5.根据权利要求1所述的一种酸性电镀铜溶液氯离子替代方法，其特征在于：镀液为标准酸性电镀铜溶液、低铜酸性电镀铜溶液、光亮型酸性电镀铜溶液或无光型酸性电镀铜溶液。

6.根据权利要求1所述的一种酸性电镀铜溶液氯离子替代方法，其特征在于：含磷物质直接添加至镀液中；或先将含磷物质配制成浓缩液，然后将浓缩液添加至镀液中；或先将含磷物质配入酸铜光亮剂中，然后将酸铜光亮剂添加至镀液中。

7.根据权利要求6所述的一种酸性电镀铜溶液氯离子替代方法，其特征在于：酸铜光亮剂为单一酸铜光亮剂、三组分型组合型酸铜光亮剂或多组分型组合型酸铜光亮剂。