[发明专利]新型IC进给压头单元无效
申请号: | 201210014963.8 | 申请日: | 2012-01-18 |
公开(公告)号: | CN102543817A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | 丁志民;陆豪亮;王建明 | 申请(专利权)人: | 苏州光宝康电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/67 |
代理公司: | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人: | 张利强 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 新型 ic 进给 压头 单元 | ||
1.一种新型IC进给压头单元,其特征在于:其包括伺服电机、滚动导轨智能组合单元、第一转接板和两个相同的压头结构,所述压头结构包括滑台气缸、第二转接板、直线导轨、第三转接板和吸嘴,所述滚动导轨智能组合单元与所述第一转接板相连接,所述压头结构分别固定于所述第一转接板的左右两侧,所述滑台气缸与所述第二转接板相连接,所述直线导轨固定于所述第二转接板上,所述第三转接板设置于所述直线导轨上,所述吸嘴固定于所述第三转接板上。
2.根据权利要求1所述的新型IC进给压头单元,其特征在于:所述新型IC进给压头单元是沿直线导轨方向定位运动。
3.根据权利要求2所述的新型IC进给压头单元,其特征在于:新型IC进给压头单元沿直线导轨方向定位运动是通过伺服电机、滚珠导轨智能组合单元带动与其相连的所述压头结构,从而带动整个压头结构中所有的零件进行Z轴方向上下运动的动作。
4.根据权利要求1所述的新型IC进给压头单元,其特征在于:所述吸嘴的运动是通过滑台气缸带动与其连接的第二转接板、直线导轨与第三转接板及吸嘴沿Z轴下方运动的动作。
5.根据权利要求1所述的新型IC进给压头单元,其特征在于:所述直线导轨通过螺丝固定的方法固定于所述第二转接板上。
6.根据权利要求1所述的新型IC进给压头单元,其特征在于:所述吸嘴采用了真空吸取的方式来吸附芯片。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造