[发明专利]电路图案检查装置

权利要求书

1.一种电路图案检查装置，其特征在于，包括：

检查电极对，将多个导电图案形成为列状的基板作为检查对象，具有对于所述导电图案中的第一导电图案，同时对向的第一供电电极以及第一传感器电极；

补充电极对，具有以夹持至少所述第一供电电极所对向的地方的部分的导电图案的方式进行分开，而以在同一导电图案上相对向的方式配置的第二供电电极以及第二传感器电极；

移动部，将所述检查电极对与所述补充电极对一体地保持，在所述导电图案的上方以一定的距离分开，而在与该导电图案的列交叉的方向上移动；

检查信号供给部，在利用所述移动部进行的所述检查电极对和所述补充电极对的移动中，对所述第一供电电极以及所述第二供电电极供给由交流信号构成的检查信号，并且使该检查信号依次施加于所述第一供电电极以及所述第二供电电极对向而电容耦合的各个导电图案上；以及

缺陷判定部，将合并了分别与施加所述检查信号的所述导电图案电容耦合而通过所述第一传感器电极取得的第一检测信号、以及通过所述第二传感器电极从包含所述第一供电电极所对向的地方的部分的导电图案的导电体图案所取得的第二检测信号的检测信号，与事先规定的判定基准值进行比较而判断有无缺陷。

2.根据权利要求1所述的电路图案检查装置，其特征在于，

所述移动部具有一体地保持、并在所述导电图案上方以一定的距离分开的第一电极基板和第二电极基板，

所述检查电极对将所述第一传感器电极配置于所述第一电极基板，将所述第一供电电极配置于第二电极基板，

所述补充电极对在与所述第一供电电极的延伸方向相同的方向上并设，从所述第一导电图案离开相当于不受电性影响的图案数的距离，并且空开所述部分的导电图案的距离而将所述第二传感器电极以及所述第二供电电极配置于所述第二电极基板上。

3.根据权利要求1所述的电路图案检查装置，其特征在于，

所述移动部具有一体地保持、并在所述导电图案上方以一定的距离分开的第一电极基板和第二电极基板，

所述检查电极对将所述第一传感器电极配置于所述第一电极基板，将所述第一供电电极配置于第二电极基板，

所述补充电极对将所述第二传感器电极配置于所述第二电极基板，并且将所述第二供电电极配置于所述第一电极基板。

4.根据权利要求1所述的电路图案检查装置，其特征在于，

所述第二供电电极的第一配置部分、与所述第二传感器电极和所述第二供电电极的第二配置部分可分离地构成所述第二电极基板，

并且，所述第二电极基板还包括设置于所述第二配置部分、在所述导电图案上方以一定的距离分开、而在该导电图案的图案方向上移动的图案纵贯移动部，

对于通过所述缺陷判定部判定出存在缺陷的导电图案，通过所述图案纵贯移动部而在图案的延伸方向上移动的所述第二配置部分的所述补充电极对检测缺陷的存在位置。