[发明专利]电路图案检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种能够以非接触的方式检查形成在基板上的导电图案的缺陷的电路图案检查装置。

背景技术

近年来，作为显示装置，在玻璃基板上使用液晶的液晶显示装置、或者利用等离子的等离子显示装置成为主流。在这些显示装置的制造工序中，对形成在玻璃基板上的成为电路配线的导电图案进行有无断路以及短路的缺陷检查。

作为导电图案的检查方法，在例如日本特开2004-191381号公报中，使至少2个检查探针接近导体图案，一边在以非接触方式与导体图案电容耦合的状态下移动，一边从一个检查探针施加交流检查信号，而利用另一个检查探针检测传输于导体图案中的交流检查信号。通过检测信号的波形变化，进行导电图案中的有无断路以及短路的检查。

使用以非接触方式与上述的导体图案电容耦合的检查电极的检查装置中，由于与导电图案相对向的检查电极的分开距离越短，或者相对向面积越大，耦合电容就变得越大，因此，传输时的损失变小，并且即使施加相同的检查信号也能够增大检测信号的值。

在检查电极的分开距离中，在与导体图案不接触的范围内接近而被设定。其分开距离中，检查对象的基板越大，基板自身的弯曲和扭曲就变得越大，因此，通过其程度而限制最小距离。

因此，检查电极，特别是将检查用交流信号施加于导体图案的供电电极中，由于相对向面积越大，施加于导体图案的检查信号就变得越大，因此，从传感器电极得到的检测信号也变大，能够减少从外部混入的噪声成分所产生的影响。但是，在增大供电电极的面积的情况下，出现与该供电电极相对向的导体图案部分即使产生断路等缺陷也不能适当地检测出的情况。

发明内容

根据本发明的实施方式提供一种电路图案检查装置，其特征在于，包括：检查电极对，将多个导电图案形成为列状的基板作为检查对象，具有对于所述导电图案中的第一导电图案，同时对向的第一供电电极以及第一传感器电极；补充电极对，具有以夹持至少所述第一供电电极所对向的地方的部分的导电图案的方式进行分开，而以在同一导电图案上相对向的方式配置的第二供电电极以及第二传感器电极；移动部，将所述检查电极对与所述补充电极对一体地保持，在所述导电图案的上方以一定的距离分开，而在与该导电图案的列交叉的方向上移动；检查信号供给部，在利用所述移动部进行的所述检查电极对和所述补充电极对的移动中，对所述第一供电电极以及所述第二供电电极供给由交流信号构成的检查信号，并且使该检查信号依次施加于所述第一供电电极以及所述第二供电电极对向而电容耦合的各个导电图案上；以及缺陷判定部，将合并了分别与施加所述检查信号的所述导电图案电容耦合而通过所述第一传感器电极取得的第一检测信号、以及通过所述第二传感器电极从包含所述第一供电电极所对向的地方的部分的导电图案的导电体图案所取得的第二检测信号的检测信号，与事先规定的判定基准值进行比较而判断有无缺陷。

附图说明

图1是示出具有本发明涉及的实施方式的补充电极的电路图案检查装置的概略构成的视图。

图2是示出检查电极和补充电极的概略构成的视图。

图3是示出电路图案检查装置的检测信号处理部的一构成例的视图。

图4是作为本发明涉及的变形例的电路图案检查装置的检查电极和补充电极的构成例的视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。

本发明的电路图案检查装置在制造工序中检测形成在例如玻璃制的基板上的多列导电图案(配线图案)成为不良原因的断路和短路的缺陷。成为检查对象的导电图案为用于例如液晶显示面板和触摸式面板等中的电路配线，为以平行配列电分离成多列的导电图案，或者为全部导电图案的一端侧通过短路棒连接的栉齿状的导电图案。并且，形成于基板上的各导电图案，只要能够确定图案的位置，即使不是平行以及等间隔的配置，也能够进行检查。

此外，当后述的检查部移动时，在相同的导电图案上，只要是供电电极与传感器电极能够相对向的图案，即使在导电图案的中途弯曲或宽度变化，也能够同等地进行检查。在以下的说明中，为了易于理解，将以一定间隔形成直线列状的导电图案作为检查对象进行说明。

图1是示出具有本发明涉及的补充电极的电路图案检查装置的概略构成的视图。图2是示出检查电极和补充电极的概略构成的视图。图3是示出电路图案检查装置的检测信号处理部的一构成例的视图。