[发明专利]真空传输制程设备及方法

说明书

技术领域

本发明涉及真空制程技术，特别是涉及一种真空传输制程设备以及一种利用该真空传输制程设备实现的真空传输制程方法。

背景技术

新能源是二十一世纪世界经济发展中最具决定力的五大技术领域之一，太阳能便是一种清洁、高效、永不衰竭的新能源。在新世纪中，各国政府都将太阳能资源利用作为国家可持续发展战略的重要内容，光伏发电具有安全可靠、无噪声、无污染、制约少、故障率低、维护简便等诸多优点。近几年来，国际光伏发电产业迅猛发展，太阳能晶片供不应求，于是提高太阳能晶片的生产能力已经成为一个重要的课题。

太阳能晶片的许多制程都是在真空制程腔中完成的，在真空制程腔中设有用于利用加工介质对太阳能晶片进行加工的加工装置。为了提高太阳能晶片的生产效率，人们需要尽可能地优化太阳能晶片进出真空制程腔的移动路线，以使得太阳能晶片能够尽可能连续地进出真空环境、并且尽可能连续地通过加工介质的有效作用范围，从而提高对加工介质的利用率。

目前业内已经提出了多种用于将太阳能晶片传入真空制程腔完成加工、再将其传出真空制程腔的真空传输制程设备，在这些真空传输制程设备中人们对太阳能晶片进出真空制程腔的移动路线进行了各种优化，以尽可能地提高加工效率。

然而，在提高加工效率的同时，这些移动路线的优化却在一定程度上导致了整个真空传输制程设备结构的复杂化，随之而来的便是运行控制的复杂化以及运行可靠性的降低。

例如，在现有的真空传输制程设备中，太阳能晶片通常都是由传输平台承载着进出真空制程腔的，而为了使得大量的传输平台能够尽可能高效地运行，在真空制程腔两侧通常均需要设计至少一个用于在大气环境与真空环境之间进行过渡的腔室。在一些设计中，位于真空制程腔一侧的腔室仅用于供待加工的太阳能晶片进入真空环境，即为进件腔，而位于真空制程腔另一侧的腔室则仅用于供完成加工的太阳能晶片离开真空环境，即为出件腔；而在另一些设计中，在真空制程腔两侧采用的则均为进出件腔，其既用于供待加工的太阳能晶片进入真空环境又用于供完成加工的太阳能晶片离开真空环境。而数量较多的进件腔、出件腔或是进出件腔无疑会提高整个真空传输制程设备的结构复杂性。

发明内容

本发明要解决的技术问题是为了克服现有技术中的真空传输制程设备通常在真空制程腔的两侧均需要设计用于工件进出的腔室，由此使得设备的整体结构复杂，从而会导致运行控制复杂化以及运行可靠性降低的缺陷，提供一种在真空制程腔与大气环境之间仅设计有一个进出件腔的真空传输制程设备以及一种利用该真空传输制程设备实现的真空传输制程方法。

本发明是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：一种真空传输制程设备，其特点在于，其包括：

一真空制程腔，包括一加工区域、位于该加工区域一侧的一第一等待区域以及位于该加工区域另一侧的一第二等待区域；

一能够在大气状态与真空状态之间切换的进出件腔，当该进出件腔处于真空状态时，该进出件腔的接近该加工区域该侧的一端能够与该第一等待区域连通、该进出件腔的接近该加工区域该另一侧的一端能够与该第二等待区域连通；

多个传输平台，用于承载工件从大气环境进入该进出件腔、从该进出件腔经过该第一等待区域或该第二等待区域进入该加工区域、在该加工区域中完成工件加工、从该加工区域经过该第一等待区域或该第二等待区域移回该进出件腔、然后从该进出件腔移回大气环境，且各传输平台用于依次连续地在该加工区域中完成工件加工。

本发明对工件的种类不做限制，其可以为例如太阳能晶片。

另外，要加以说明的是，在本发明中“第一”和“第二”仅用于对两个等待区域进行区分，该两个等待区域的设计在本发明中的地位实际上是完全对等的。

本发明不再在该真空制程腔的两侧分别设计用于在大气环境与真空环境之间进行过渡的腔室，而是将各传输平台进出该真空制程腔的出口和入口统一为该进出件腔，这显然极大地简化了整个真空传输制程设备的结构。

另外，考虑到每个传输平台上的工件在该加工区域中完成加工是需要一定的时间的，而当传输平台需要通过该进出件腔进入/离开真空环境时该进出件腔的抽真空/充气也是需要一定的时间的，因此，本发明在该加工区域的两侧分别设计了该第一和第二等待区域，当该加工区域或该进出件腔正被其它传输平台占用时，后续的传输平台便可以在该第一或第二等待区域中暂时等待。