[发明专利]加工装置有效
申请号: | 201210023465.X | 申请日: | 2012-02-02 |
公开(公告)号: | CN102629566A | 公开(公告)日: | 2012-08-08 |
发明(设计)人: | 高桥聪;安田信哉;寺师健太郎 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/683;B23K26/38 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 党晓林;王小东 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加工 装置 | ||
1.一种加工装置,所述加工装置具备:可动部;移动构件,所述移动构件包括使所述可动部移动的马达和滚珠丝杠;以及控制构件,所述控制构件控制所述移动构件,
所述加工装置的特征在于,
所述加工装置具备简易标尺单元,所述简易标尺单元用于检测该可动部从基准距离的始点移动至终点这一情况,
所述控制构件包括:
旋转角存储部,所述旋转角存储部存储旋转角,该旋转角是在预定的时刻使所述马达旋转、从而使所述可动部从所述基准距离的始点移动至终点时的所述马达的旋转角;
单位旋转角移动距离计算部,所述单位旋转角移动距离计算部根据由所述旋转角存储部存储的旋转角和所述基准距离来计算出每单位旋转所对应的所述可动部的移动距离;
旋转角计算部,所述旋转角计算部基于由所述单位旋转角移动距离计算部计算出的所述每单位旋转所对应的移动距离,计算出使所述可动部移动预定距离所需要的所述马达的旋转角;以及
马达控制部,所述马达控制部使所述马达旋转由所述旋转角计算部计算出的所述旋转角的量,从而使所述可动部移动所述预定距离。
2.根据权利要求1所述的加工装置,其中,
所述简易标尺单元由下述部件构成:
简易标尺,所述简易标尺被安装在所述可动部,并且具有第1狭缝和第2狭缝,所述第2狭缝从该第1狭缝离开基准距离;和
光电断路器,所述光电断路器由发光元件和受光元件构成,所述发光元件和受光元件夹着所述简易标尺以对置的方式配设在基座上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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