[发明专利]一种投影光刻机的硅片台对准机构无效
| 申请号： | 201210026710.2 | 申请日： | 2012-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN102566316A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 胡淘;胡松;邢薇;徐文祥 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 许玉明;贾玉忠 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 投影 光刻 硅片 对准 机构 | ||
【权利要求书】：
1.一种投影光刻机的硅片台对准机构，其特征在于包括：拉簧(1)、硅片台(2)、止推轴承(3)、基座(4)、调节螺栓(5)、螺纹副(6)、光孔(7)、传动杆(8)、楔块(9)、导轨副(10)和导轨(11)；硅片台(2)位于止推轴承(3)上，调节螺栓(5)被固定在基座(4)的螺纹副(6)内，拉簧(1)的左端套在硅片台(2)的弹簧拉杆上，拉簧(1)的右端挂在基座(4)上，调节螺栓(5)的前端顶在楔块(9)上，楔块(9)通过导轨副(10)与导轨(11)连接，楔块(9)的斜面保持与传动杆(8)接触，传动杆(8)被固定在基座(4)的光孔(7)内，传动杆(7)的前端与硅片台(2)保持接触。
2.根据权利要求1所述的投影光刻机的硅片台对准机构，其特征在于：所述的调节螺栓(5)传动杆(8)的前端均为球形，调节螺栓(5)前端的球形始终保持与楔块(9)相接触，楔块(9)的斜面与传动杆(8)斜面接触，传动杆(8)前端的球形始终保持硅片台(2)相接触。
3.根据权利要求1或2所述的投影光刻机的硅片台对准机构，其特征在于：所述的螺纹副(6)为一般螺纹副，楔块(9)与传动杆(8)之间为斜面，楔块(9)与导轨(11)之间为导轨副(10)。
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