[发明专利]一种单晶炉整体无效
申请号: | 201210039066.2 | 申请日: | 2012-02-21 |
公开(公告)号: | CN102560624A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 黄永明;王建文;陈永华 | 申请(专利权)人: | 浙江百隆机械有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 322300 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 整体 | ||
1.一种单晶炉整体,包括机架(1)、炉底盘(2)、下炉膛(3)、上炉膛(4)、炉盖(5)、上炉体(7)、水平调整支架(9)、籽晶提升装置(10),其特征在于,所述的机架(1)内设有空腔,空腔内安装有坩埚提升装置(12),机架(1)上摆放有炉底盘(2),下炉膛(3)和上炉膛(4)连接在一起,摆放在炉底盘(2)上,炉盖(5)盖在上炉膛(4)顶部,炉盖(5)通过隔离阀腔(6)连接上炉体(7),上炉体(7)侧面通过提升架连接双立柱(11),上炉体(1)上端设有延长筒(8),延长筒(8)上方为水平调整支架(9),水平调整支架(9)通过转轴连接籽晶提升装置(11)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉整体,其特征在于,所述的双立柱(11)由主立柱焊接连接辅立柱构成。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉整体,其特征在于,所述的水平调整支架(11)由底法兰、支撑杆、调节螺母、上法兰组成,上下法兰通过支撑杆连接支撑,支撑杆通过调节螺母调节高度。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉整体,其特征在于,所述的籽晶提升装置(10)由链条、支撑板、丝杆螺母、限位挡片、丝杆组成,绕绳轮和主动链轮都套在电机的转轴上,从动链轮安装在滚动丝杆的一端,主动链轮与从动链轮通过链条连接在一起,通过螺丝固定有限位挡片的滑块套在丝杆螺母上,滚动丝杆穿过丝杆螺母两头架在支撑块内固定,滚动丝杆上方设有圆导轨,支撑块两端顶上通过螺钉固定有行程开关顶板。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉整体,其特征在于,所述的下炉膛(3)、上炉膛(4)、炉盖(5)和上炉体(7)都由内罩、外罩组成,内外罩之间形成冷却层。
6.根据权利要求1所述的一种单晶炉整体,其特征在于,所述的炉盖(5)上设有观察窗。
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