[发明专利]图案形成方法及图案形成装置、以及元件制造方法

权利要求书

1.一种图案形成方法，于物体上形成图案，其特征在于，所述方法以标记检测系统检测所述物体上的标记，使用所述检测结果开始对所述物体的图案形成；

且所述图案形成开始后也以所述标记检测系统检测所述物体上的标记，于所述图案形成使用所述检测结果。

2.如权利要求1所述的图案形成方法，其特征在于，于所述物体上的复数个区划区域分别形成图案，所述复数个区划区域中包含最初形成所述图案的区划区域的第1群区划区域，使用所述图案形成开始前的所述标记的检测结果，与所述第1群区划区域不同的第2群区划区域，使用所述图案形成开始后的所述标记的检测结果。

3.如权利要求2所述的图案形成方法，其特征在于，所述第2群区划区域，也使用所述图案形成开始前的所述标记的检测结果。

4.如权利要求2或3所述的图案形成方法，其特征在于，所述第2群区划区域，是在所述第1群区划区域后进行所述图案形成。

5.如权利要求1至4中任一项所述的图案形成方法，其特征在于，在所述图案形成开始前，使所述物体移动于第1方向，并检测在所述物体上于所述第1方向上位置不同的复数个标记。

6.如权利要求1至5中任一项所述的图案形成方法，其特征在于，在所述图案形成开始前，使所述物体在待在所述物体上形成图案的复数个区划区域所排列的第1方向移动，并检测在所述物体上于所述第1方向上位置不同的复数个标记。

7.如权利要求5或6所述的图案形成方法，其特征在于，所述方法通过具有在与所述第1方向正交的第2方向上位置不同的检测区域的复数个标记检测系统，检测所述物体上的标记。

8.如权利要求7所述的图案形成方法，其特征在于，所述方法改变所述复数个检测区域在所述第2方向的间隔，并检测在所述物体上于所述第2方向上位置不同的标记。

9.如权利要求1至8中任一项所述的图案形成方法，其特征在于，所述标记的检测是于所述物体的移动中一边移动所述检测区域一边进行。

10.如权利要求5至9中任一项所述的图案形成方法，其特征在于，所述方法通过与所述标记检测系统不同的检测系统，检测在所述移动中与所述物体的面形状相关的信息，并在所述图案形成中使用其检测结果。

11.一种图案形成方法，于物体形成图案，其特征在于，所述方法使所述物体移动于第1方向，通过在与所述第1方向正交的第2方向具有不同位置的检测区域的复数个标记检测系统，来分别检测所述物体上于所述第1方向不同位置的复数个标记，且通过与所述标记检测系统不同的检测系统检测与所述物体面形状相关的信息；

使用所述两个检测结果于所述物体形成图案。

12.如权利要求11所述的图案形成方法，其特征在于，所述复数个标记，包含在所述第2方向上位置不同的标记，所述复数个标记检测系统是使其检测区域移动于所述第2方向。

13.如权利要求11或12所述的图案形成方法，其特征在于，所述各标记的检测，是于所述物体的移动中一边移动所述检测区域一边进行。

14.如权利要求11至13中任一项所述的图案形成方法，其特征在于，所述不同检测系统的检测区域，是在所述第1方向配置于进行所述图案形成的位置与所述标记检测系统的检测区域之间。

15.如权利要求10至14中任一项所述的图案形成方法，其特征在于，与所述面形状相关的信息的检测动作的至少一部分是与所述标记检测动作同时进行。

16.如权利要求1至15中任一项所述的图案形成方法，其特征在于，所述方法使所述物体曝光以形成图案。

17.如权利要求16所述的图案形成方法，其特征在于，所述物体被进行液浸曝光。

18.一种元件制造方法，包含使用权利要求1至17中任一项所述的图案形成方法将图案形成于感应物体上的步骤。