[发明专利]一种大型扩散泵真空机组的高真空阀门

权利要求书

1.一种大型扩散泵真空机组的高真空阀门，包括由上阀体和下阀体组成的阀体，所述的上阀体和下阀体之间设有阀盖和开孔的阀座板连通或关闭上阀体和下阀体，其特征是：所述的上阀体和下阀体两者处于同一水平，所述的阀座板45度倾斜设置，所述的阀盖的一侧通过水平轴铰接在上阀体上。

2.根据权利要求1所述的大型扩散泵真空机组的高真空阀门，其特征在于：所述的阀盖的一侧通过水平轴铰接在上阀体上的结构为：至少2条连接杆，其一端插入所述的水平轴内且固连，所述阀盖通过调节组件与所述的连接杆相连；

所述调节组件包括扣盖和圆头调节螺杆，扣盖用连接件紧固在阀盖上，扣盖中间开有沉孔，圆头调节螺杆上端穿过沉孔后与连接杆上所开的螺纹孔螺纹连接；

还设有调节螺杆，其上端同样通过螺纹结构与连接杆上所开的螺纹孔螺纹连接。

3.根据权利要求2所述的大型扩散泵真空机组的高真空阀门，其特征在于： 所述的阀盖设有驱动组件，所述驱动组件设在阀体外侧，包括水平设置的气缸，气缸的后端与设于阀体侧面上的受力轴铰接，气缸的活塞杆端与一摇臂的一端相铰接，所述的摇臂的另一端与所述阀盖的水平轴伸出阀体外的一端固定连接。

4.根据权利要求3所述的大型扩散泵真空机组的高真空阀门，其特征在于：所述阀体的两管口轴线垂直，一边是下阀体，管口为圆形、向下连通扩散泵，另一边是上阀体管口呈矩形与镀膜机镀室连通，所述下阀体为水平横截面为U型、与上阀体连通的开口倾斜45度的柱体，U型的水平部分与上阀体连通，为宽长高矮的方形过渡管，所述与扩散泵连通的圆形管口直接设于下阀体U型弧段部分的底面。

5.根据权利要求4所述的大型扩散泵真空机组的高真空阀门，其特征在于：所述调节螺杆的总数量为3~4个。