[发明专利]一种大型扩散泵真空机组的高真空阀门

说明书

技术领域

    本发明涉及一种高真空阀门，特别涉及一种连接大型真空镀膜机和扩散泵机组的高真空阀门结构。

背景技术

大型真空镀膜机配用大型真空机组，许多大型真空镀膜机、特别是塑胶制品和金属制品的真空蒸发镀膜机，多采用大型扩散泵真空机组。

一直以来，扩散泵顶上都配有冷阱，其上再配高真空阀门，呈立式组合，往往阀顶即为设备的最高点。气动式高真空阀门有竖型和扁型两种，以800扩散泵为例，扩散泵高1807mm，冷阱150mm，竖阀1790mm，合计3747mm，加维修空间500mm，标高要留4247mm；若换成扁型阀门，阀高1180mm，合计总高3137mm，加上维修空间500mm，标高也要有3637 mm。可见，标准配置的镀膜机对厂房标高要求较高，即使安装在第一层的设备有时也要挖地坑来满足标高，而一些镀膜厂会设在楼上若干层，高层的楼层高度一般更矮些，往往限制了设备的进入，不能采用大机型，有的至少要拆墙拆门窗，很不方便。

其实，镀膜机的主机(镀室) 顶并不是设备的最高点，并没有超高，是扩散泵上面的高真空阀门的顶部超高。而目前镀膜机标配的真空扩散泵机组由于可选择的高真空阀门的高度都较高，高真空阀门占了扩散泵机组高度的二分之一至三分之一，这成了设备减高的重要环节，但至今还没有新的产品可选择。当然可选择高真空闸板阀替代，但由于其制造精度高，工艺复杂，普通的制造厂很难制造出来，所以其价格非常昂贵，一般的镀膜机配备不起。

通常为镀膜机标配的气动式高真空阀门，其阀盖相对阀座均采用竖直上下运动的方式，故很难给大型高真空阀门减高，要减高必须对阀门的运动方式作根本的改变。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种阀高较矮的高真空阀门，从而解决现有技术中大型镀膜设备对厂房高度的要求较高的问题。

解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种大型扩散泵真空机组的高真空阀门，包括由上阀体和下阀体组成的阀体，所述的上阀体和下阀体之间设有阀盖和开孔的阀座板连通或关闭上阀体和下阀体，其特征是：所述的上阀体和下阀体两者处于同一水平，所述的阀座板45度倾斜设置，所述的阀盖的一侧通过水平轴铰接在上阀体上。

就如同箱盖那样，可绕水平轴转动，即可盖在水平的箱口也可以盖在垂直的箱口上，现在是箱口成45度倾斜，把原来阀盖相对阀座板垂直上下升降运动改成阀盖相对阀座板翻转45度开合运动。

本发明优选如下具体实施方式：所述的阀盖的一侧通过水平轴铰接在上阀体上的结构为：至少2条连接杆，其一端插入所述的水平轴内且固连，所述阀盖通过调节组件与所述的连接杆相连；

所述调节组件包括扣盖和圆头调节螺杆，扣盖用连接件紧固在阀盖上，扣盖中间开有沉孔，圆头调节螺杆上端穿过沉孔后与连接杆上所开的螺纹孔螺纹连接，即扣盖通过其上沉孔挂装在圆头调节杆下端的圆头上；

还设有调节螺杆，其上端同样通过螺纹结构与连接杆上所开的螺纹孔螺纹连接，下端在所述阀盖到达闭合位置时抵着阀盖以校平阀盖使其紧密的贴合在阀板座上达到最佳平衡密封状态。

当阀体的零件发生更换，如更换阀盖上的密封圈后，由于零件误差的存在，可能导致阀盖与阀座板之间的配合不紧密，影响阀门关闭时的密闭性，此时可通过微调连接杆上的调节螺杆，使阀门与阀座板之间重新达到最佳平衡密封状态；另外，上述调节组件、调节螺杆的设置，也是适应大规模生产的一种需要，同样由于零件误差的存在，连接杆与阀盖之间的刚性连接很难保证阀盖到达闭合位置时，阀盖与阀座板之间的紧密配合，采用本发明的调节组件和调节螺杆的配合设计后，可通过调整调节螺杆及时修正阀盖与阀座板之间的配合误差。

本发明的阀盖还可加设驱动组件，作为驱动组件的一种具体实施方式：所述的阀盖设有驱动组件，所述驱动组件设在阀体外侧，包括水平设置的气缸，气缸的后端与设于阀体侧面上的受力轴铰接，气缸的活塞杆端与一摇臂的一端相铰接，所述的摇臂的另一端与所述阀盖的水平轴伸出阀体外的一端固定连接。气缸推动活塞杆前、后运动带动摇臂以水平轴为支点左右摆动，通过气缸绕受力轴的转动来适应摇臂的弧线运动。

本发明可优选如下结构：所述阀体的两管口轴线垂直，一边是下阀体，管口为圆形、向下连通扩散泵，另一边是上阀体管口呈矩形与镀膜机镀室连通，所述下阀体为水平横截面为U型、与上阀体连通的开口倾斜45度的柱体，U型的水平部分与上阀体连通，为宽长高矮的方形过渡管，所述与扩散泵连通的圆形管口直接设于下阀体U型弧段部分的底面。

所述调节螺杆的总数量的较佳范围为3~4个。