[发明专利]石英器件、石英器件的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟

权利要求书

1.一种石英器件，其中包括：

接合片，接合有多个圆片的圆片接合体在每个器件形成区域小片化而成；以及

空腔，形成于所述接合片内，能封入石英板，

其特征在于，包括：

电极图案，形成于所述多个圆片中的第一圆片的所述器件形成区域上；以及

凸点，用于将所述石英板安装在所述电极图案上，

在所述第一圆片上，用于进行所述凸点的对位的对准标记与所述电极图案分开形成。

2.如权利要求1所述的石英器件，其特征在于：

所述对准标记在所述第一圆片的所述器件形成区域分别形成。

3.如权利要求1或2所述的石英器件，其特征在于：

所述对准标记至少形成2个以上。

4.一种石英器件的制造方法，所述石英器件包括：

接合片，接合有多个圆片的圆片接合体在每个器件形成区域小片化而成；以及

空腔，形成于所述接合片内，能封入石英板，

所述石英器件的制造方法的特征在于，所述石英器件包括：

电极图案，形成于所述多个圆片中的第一圆片的石英器件形成区域上；以及

凸点，用于将所述石英板安装在所述电极图案上，

所述石英器件的制造方法具有：

电极图案形成工序，将在相当于所述电极图案的区域具有第一开口部的掩模材料设置在所述第一圆片上，用溅射法来形成所述电极图案；

对准标记形成工序，将用于在所述第一圆片上进行所述凸点的对位的对准标记与所述电极图案分开形成；

凸点形成工序，基于所述对准标记的位置在所述电极图案上形成所述凸点；以及

装配工序，经由所述凸点将所述石英板安装在所述电极图案上。

5.如权利要求4所述的石英器件的制造方法，其特征在于：

所述掩模材料在相当于所述对准标记的区域具有第二开口部，

用溅射法在同一工序进行所述电极图案形成工序和所述对准标记形成工序。

6.如权利要求4或5所述的石英器件的制造方法，其特征在于：

在所述对准标记形成工序中，与所述第一圆片的所述器件形成区域分别对应地形成所述对准标记。

7.一种压电振动器，其特征在于：

在从权利要求1到3中任一项所述的石英器件的所述空腔内，气密密封有压电振动片作为所述石英板。

8.一种振荡器，其特征在于：

权利要求7所述的所述压电振动器作为振子与集成电路电连接。

9.一种电子设备，其特征在于：

权利要求7所述的所述压电振动器与计时部电连接。

10.一种电波钟，其特征在于：

权利要求7所述的所述压电振动器与滤波部电连接。