[发明专利]石英器件、石英器件的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟

说明书

技术领域

本发明涉及石英(水晶)器件、石英器件的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟。

背景技术

近年来，在便携电话或便携信息终端设备中，作为时刻源或控制信号等的定时源、参考信号源等，使用利用了石英等的压电振动器(石英器件)。这种压电振动器已知有很多种，但作为其中之一，已知有表面安装(SMD)型的压电振动器。

压电振动器200例如如图18、图19所示，包括：由经由接合材料207互相阳极接合的玻璃材料构成的基底基板201及盖基板202；以及被气密密封于两个基板201、202之间所形成的空腔C内的压电振动片(石英板)203。

上述的压电振动片203经由凸点211与形成于基底基板201上的电极图案210接合，进一步经由贯通基底基板201而形成的导电部件212，压电振动片203与形成于基底基板201的外部电极213电连接。

另外，作为上述的电极图案210的形成方法，一般而言使用光刻技术。具体而言，如专利文献1、2所示，在基底基板201上形成电极膜后，涂布抗蚀剂膜，以覆盖电极膜。然后，在相当于电极图案210的区域使用形成有遮光膜的光掩模，通过曝光、显影，对抗蚀剂膜进行构图，形成沿着电极图案210的外形形状的抗蚀剂图案。然后，通过将抗蚀剂图案作为掩模对电极膜进行蚀刻，形成除了由抗蚀剂图案所保护的区域以外的电极膜被选择性去除的电极图案210。

专利文献1：日本特开平10-284966号公报

专利文献2：日本特开2008-219606号

发明内容

然而，在使用了上述的光刻技术的电极图案210的形成方法中，存在的问题是：虽然能够形成高精细的电极图案210，但曝光、显影、蚀刻等制造的工时数比较多，无法希望大幅提高制造效率。

因此，最近在探讨形成电极图案210时采用隔着掩模材料进行溅射的，所谓的掩模溅射法。掩模溅射法是将在相当于电极图案210的区域具有开口部的掩模材料(例如SUS等)，承载于成为基底基板201的圆片(wafer)上的状态下进行溅射。据此，从靶飞出的成膜材料的粒子通过掩模材料的开口部并堆积在圆片上，从而能够对电极图案210进行成膜。

然而，若采用上述的掩模溅射法，则存在的问题是：例如掩模材料会由于热量而产生膨胀并弯曲，成膜材料的粒子会绕进形成于掩模材料与圆片之间的间隙，容易产生图案模糊。特别存在的问题是：若圆片大面积化，则弯曲量会进一步变大，图案模糊会进一步变大。

另外，在压电振动器200的制造工序中，为了在电极图案210上形成凸点211，需将电极图案210的一部分形成作为对准部215，构图成为在其他部分没有的独特的形状。然后，利用图像识别等来检测对准部215的位置，基于该检测结果来进行凸点211的对准。

然而，存在的问题是：若如上所述由于掩模溅射法在电极图案210产生图案模糊，则无法准确检测出对准部215的位置，对准精度会下降。结果存在的问题是：电极图案210与凸点211会引起错位。

因此，本发明是考虑到这样的情况而完成的，其目的在于提供一种石英器件、石英器件的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟，其能力图削减制造工时数，并将电极图案与凸点进行高精度定位。

为解决上述的问题、达到这样的目的，本发明的石英器件包括：接合片，接合有多个圆片的圆片接合体在每个器件形成区域小片化而成；以及空腔，形成于所述接合片内，能封入石英板，其特征在于，包括：电极图案，形成于所述多个圆片中的第一圆片的所述器件形成区域上；以及凸点，用于将所述石英板安装在所述电极图案上，在所述第一圆片上，用于进行所述凸点的对位的对准标记与所述电极图案分开形成。

根据该结构，通过与电极图案分开形成对准标记，与在与电极图案一体形成对准标记(上述的对准部215)的以往的结构相比，即使是比较简单的形状，也容易识别对准标记的位置。即，例如在利用掩模溅射法来形成对准标记的情况下，即使在假设产生若干图案模糊的情况下，也容易识别对准标记。

所以，能够将基于对准标记的位置形成的凸点进行高精度定位。其结果是，能够使石英板与电极图案可靠地导通。

另外，其特征在于，所述对准标记在所述第一圆片的所述器件形成区域分别形成。

根据该结构，通过在第一圆片的器件形成区域分别形成对准标记，能够与各石英器件的电极图案对应地，进行更高精度的定位。

另外，其特征在于，所述对准标记至少形成2个以上。

根据该结构，通过基于多个对准标记的位置来进行凸点的对准，能够进行更高精度的定位。