[发明专利]具有银含量可控的焊料接合区域的半导体封装件在审

专利信息
申请号: 201210040864.7 申请日: 2012-02-21
公开(公告)号: CN103066050A 公开(公告)日: 2013-04-24
发明(设计)人: 郑明达;黄贵伟;蔡钰芃;陈正庭;林修任;刘重希 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L23/498 分类号: H01L23/498
代理公司: 北京德恒律师事务所 11306 代理人: 陆鑫;房岭梅
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 具有 含量 可控 焊料 接合 区域 半导体 封装
【权利要求书】:

1.一种半导体封装件,包括:

工件,包括导电迹线;以及

芯片,包括凸块结构,

其中,所述芯片附接至所述工件,并且所述凸块结构电连接至所述导电迹线,从而形成迹线上凸块(BOT)互连结构;以及

其中,所述BOT互连结构包括焊料区域,并且所述焊料区域中的银(Ag)含量不超过1.8重量百分比(wt%)。

2.根据权利要求1所述的半导体封装件,其中,所述焊料区域中的银含量在0.5重量百分比至1.8重量百分比之间。

3.根据权利要求1所述的半导体封装件,其中,所述焊料区域中的银含量在0.5重量百分比至1.0重量百分比之间。

4.根据权利要求1所述的半导体封装件,其中,所述焊料区域中的银含量在1.1重量百分比至1.5重量百分比之间。

5.根据权利要求1所述的半导体封装件,其中,所述凸块结构是伸长的形状。

6.根据权利要求1所述的半导体封装件,其中,所述凸块结构包括导电柱。

7.根据权利要求6所述的半导体封装件,其中,所述导电柱包括铜。

8.根据权利要求1所述的半导体封装件,其中,所述工件包括电介质衬底,并且所述导电迹线包括铜。

9.一种半导体封装件,包括:

工件,包括导电迹线;以及

芯片,包括:导电柱和所述导电柱上方的焊料层,

其中,所述芯片附接至所述工件,并且所述导电柱通过所述焊料层电连接至所述导电迹线,

其中,所述焊料层中的银(Ag)含量在0.5重量百分比至1.8重量百分比之间。

10.一种方法,包括:

容纳半导体衬底,所述半导体衬底包括伸长的导电柱;

在所述伸长的导电柱上方形成焊料层,其中,所述焊料层中的银(Ag)含量在0.5至1.8重量百分比之间;

容纳电介质衬底,所述电介质衬底包括导电迹线;以及

将所述半导体衬底附接至所述电介质衬底,并且通过所述焊料层将所述伸长的导电柱电连接至所述导电迹线。

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