[发明专利]硅片清洗周转盒无效
| 申请号： | 201210041706.3 | 申请日： | 2012-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN102553874A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 王秦伟;蔺雷亭;王欣;何晋康 | 申请（专利权）人： | 高佳太阳能股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 杨小双 |
| 地址： | 214174 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 清洗 周转 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片清洗周转盒，包括盒体，其特征在于：所述盒体内设置有托架，所述托架开有至少一个用于放置硅片的V字型槽。
2.根据权利要求1所述的硅片清洗周转盒，其特征在于：所述托架开有4个V字型槽，且托架的宽度小于硅片的宽度。
3.根据权利要求1或2所述的硅片清洗周转盒，其特征在于：所述托架通过螺栓可拆卸的固定于盒体内。
4.根据权利要求1或2所述的硅片清洗周转盒，其特征在于：所述托架表面覆盖有一层起防滑减震作用的橡胶垫。
5.根据权利要求1或2所述的硅片清洗周转盒，其特征在于：所述盒体为长方形结构，由塑料制成。
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