[发明专利]一种PECVD用的双面电极孔石墨舟无效
| 申请号： | 201210044321.2 | 申请日： | 2012-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN102534564A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 袁卫华;易文杰;吕文利;贾京英;杨彬 | 申请（专利权）人： | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458;C23C16/46;C23C16/50 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410205 湖南省长沙*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 pecvd 双面 电极 石墨 | ||
1.一种PEC VD用的双面电极孔的石墨舟，包括与电极杆(1)相连的石墨舟本体，其特征是，所述石墨舟本体由位于奇数次的奇电极板(2)、位于偶数次的偶电极板(3)、上电极中间隔块(4)、下电极中间隔块(5)、对称下电极中间隔块(6)、电极隔块(8)和石墨舟脚(9)组成，所述石墨舟本体两端均开有两个电极孔，且每一端的两个电极孔中，其中，位于上部的电极孔均设置在位于石墨舟本体两端的上电极中间隔块(4)上，下部电极孔分别设置在所述下电极中间隔块(5)与对称下电极中间隔块(6)上，该下电极中间隔块(5)与对称下电极中间隔块(6)分别设在石墨舟本体的两端；所述石墨舟本体两端的两个电极孔之间的距离相等。
2.根据权利要求1所述的PECVD用的双面电极孔的石墨舟，其特征是，所述石墨舟本体一端通过上电极中间隔块(4)和对称下电极中间隔块(6)，电极隔块(8)和石墨舟脚(9)分隔奇电极板(2)和偶电极板(3)，另一端通过上电极中间隔块(4)和下电极中间隔块(5)，电极隔块(8)和石墨舟脚(9)分隔奇电极板(2)和偶电极板(3)。
3.根据权利要求1所述的PECVD用的双面电极孔的石墨舟，其特征是，所述电极孔分别设在上电极中间隔块(4)、下电极中间隔块(5)和对称下电极中间隔块(6)上。
4.根据权利要求1～3之一所述的PECVD用的双面电极孔的石墨舟，其特征是，所述四个电极孔的孔径相同，每个电极孔包括锥状的导向孔和与该导向孔相连圆孔。
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