[发明专利]一种PECVD用的双面电极孔石墨舟

说明书

技术领域

本发明公开了一种双面电极孔的石墨舟，涉及PECVD，用于解决大生产线上的石墨舟推车左右手操作设备间互换问题，属于太阳能光伏领域。

技术背景

PECVD设备利用高频电源辉光放电产生等离子体，对插入预先长好PN结的太阳能硅片的平行板镀膜石墨舟进行化学气相沉积。大规模生产线上为了充分利用净化厂房空间，节省成本和操作方便，设备通常采取两台设备的操作面相向布局，设备常有左右手操作之分，而电极杆的安装位置相对固定在设备同一端，常规石墨舟只有一端有电极孔，如图1所示，在图1中，左右手操作布置两台设备，中间是放置有单面电极孔石墨舟工艺设备，载有单面电极孔石墨舟的石墨舟推车位于设备中间，单面电极孔石墨舟的左端为有电极孔端，右端为无电极孔端。假如右手操作设备的放置好石墨舟的石墨舟推车要在左手操作设备中使用，调转180度就会导致有电极孔的一端与设备电机杆端相反，这样就无法左右手操作设备石墨舟推车互换，单面有孔石墨舟用在左右手操作设备要相对固定石墨舟推车，石墨舟推车使用效率降低，生产线的生产效率降低；假如操作员工混淆使用推车，将单面有孔石墨舟的无电极孔端朝电极杆端送入石墨舟，将会导致石墨舟与电极杆的顶撞而导致双方损坏。

发明内容

为了克服防止操作员工混淆使用推车，导致石墨舟与电极杆的顶撞而导致双方损坏的问题，本发明旨在提供一种PECVD用的双面电极孔的石墨舟，在同一石墨舟两端均设计有对应电极杆插入的电极孔，可有效地解决石墨舟推车在左右手操作设备之间互换使用问题。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：一种PECVD用的双面电极孔的石墨舟，包括与电极杆相连的石墨舟本体，其结构特点是，所述石墨舟本体由位于奇数次的奇电极板、位于偶数次的偶电极板、上电极中间隔块、下电极中间隔块、对称下电极中间隔块、电极隔块和石墨舟脚组成，所述石墨舟本体两端均开有两个电极孔，且每一端的两个电极孔中，其中，位于上部的电极孔均设置在位于石墨舟本体两端的上电极中间隔块上，下部电极孔分别设置在所述下电极中间隔块与对称下电极中间隔块上，该下电极中间隔块与对称下电极中间隔块分别设在石墨舟本体的两端；所述石墨舟本体两端的两个电极孔之间的距离相等。

进一步地，所述石墨舟本体一端通过上电极中间隔块和对称下电极中间隔块以及电极隔块与石墨舟脚分隔奇电极板和偶电极板，另一端通过上电极中间隔块和下电极中间隔块分隔奇电极板和偶电极板。

更进一步地，所述电极孔分别设在上电极中间隔块、下电极中间隔块和对称下电极中间隔块上。

所述四个电极孔的孔径相同，为了方便快速地实现电极杆和石墨舟的对接，所述电极孔包括锥状的导向孔和与该导向孔相连圆孔。

籍由上述结构，本发明采用在同一石墨舟上两端均设计有与电极杆对应插入的电极孔；采用两个上电极中间隔块4，一个下电极中间隔块5，一个对称下电极中间隔块6，三种隔块上均设计有与电极杆头插入后良好接触的电极孔。

该机构由以下零件构成：两个电极杆1，十个奇电极板2，九个偶电极板3，两个上电极中间隔块4，一个下电极中间隔块5，一对称下电极中间隔块6，一工艺石英管7，二十四个电极隔块8，四个石墨舟脚9。

所述的电极杆1有上下两根，结构相同，且电极杆1的前端是锥状的导向头，该导向头用螺钉固定在不锈钢杆上，与上电极中间隔块4，下电极中间隔块5，对称下电极中间隔块6上的电极孔配合接触，电极杆1的后端固定在工艺法兰上，与高频电源输出端相连起导电作用。

其中，所述的奇电极板2是石墨舟上奇数次石墨板，其上设计卡槽螺钉卡住工艺硅片。所述的偶电极板3是石墨舟上偶数次石墨板，其上设计卡槽螺钉卡住工艺硅片。

所述的上电极中间隔块4是与上面电极杆1前端接触，电极孔是外面锥状导向孔，里面是直径与电极杆间隙配合的圆孔，双面电极孔石墨舟两端各一块。

所述的下电极中间隔块5是与下面电极杆1前端接触，电极孔是外面锥状导向孔，里面是与电极杆形成间隙配合的圆孔。

所述的对称下电极中间隔块6是与下面电极杆1前端接触，电极孔是外面锥状导向孔，里面是与电极杆形成间隙配合的圆孔，其与下电极中间隔块5对称安装在双面孔石墨舟的两端。