[发明专利]带有复合钝化膜的大功率器件无效
| 申请号： | 201210046231.7 | 申请日： | 2012-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN103295974A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 许志峰 | 申请（专利权）人： | 江苏东光微电子股份有限公司;宜兴市东晨电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/29 | 分类号： | H01L23/29 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 夏平 |
| 地址： | 214205 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 带有 复合 钝化 大功率 器件 | ||
【权利要求书】：
1.一种带有复合钝化膜的大功率器件，其特征是在大功率器件的PN结表面，从内至外依次为多晶硅薄膜（1）、掺氧多晶硅薄膜SIPOS（2）、玻璃（3）和氧化硅薄膜（4）。
2.根据权利要求1所述的带有复合钝化膜的大功率器件，其特征是所述的多晶硅薄膜（1）为多晶硅层，厚度为200~400?m。
3.根据权利要求1所述的带有复合钝化膜的大功率器件，其特征是所述的掺氧多晶硅薄膜SIPOS（2）的厚度为5000~10000 ?m。
4.根据权利要求1所述的带有复合钝化膜的大功率器件，其特征是所述的氧化硅薄膜（4）为二氧化硅层，厚度为4000~10000 ?m。
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