[发明专利]放射线检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种使用放射线检查检查对象物的放射线检查装置。

本申请根据2011年2月28日申请的日本国专利申请第2011-042240号主张优先权，将其内容引用在这里。

背景技术

下面引用专利、专利申请、专利公报、科学文献等已经明确，但为了更充分地说明本发明的现有技术，将其内容引用在这里。

放射线检查装置是将放射线(例如，X射线、β射线、γ射线、紫外线、可见光线、红外线、电波等波长大于或等于10微米的电磁波)照射到检查对象物上，通过检测穿过检查对象物的放射线求出透射特性，进行检查对象物的检查的装置。该放射线检查装置因为可以不破坏检查对象物而检查其特性，所以可以在各种领域使用。例如，在生产领域，作为在线检查生产的薄板或薄膜(单层薄膜及多层薄膜)的厚度或涂敷量等的厚度检查装置，使用的情况很多。

在这里，上述厚度检查装置大致分为“扫描型检查装置”和“全表面检查型检查装置”。前者的“扫描型检查装置”为，例如将产生放射线的放射线源头部和电离箱等检测器头部隔着检查对象物相对配置，可以使这两个头部一体地在与检查对象物的流向相交叉的方向(检查对象物的宽度方向)往复运动。与此相对，后者的“全表面检查型检查装置”是隔着检查对象物使放射线源头部和检测器头部固定配置的装置，上述放射线源头部产生例如沿检查对象物的宽度方向以直线状延伸的放射线，上述检测器头部具有线型检测器，该线型检测器在检查对象物的宽度方向排列多个检测元件。

“扫描型检查装置”通过使放射线源头部和检测器头部一体地在检查对象物的宽度方向往复运动，且利用检测器头部检测从放射线源头部放出的放射线，从而测定检查对象物的宽度方向的厚度分布。与此相对，“全表面检查型检查装置”不使放射线源头部及检测器头部移动，通过利用检测器头部的线型检测器检测从放射线源头部放出的线状放射线，测定检查对象物的宽度方向的厚度分布。另外，日本实公平7-52573号公报及日本实开昭62-193505号公报，分别公示了上述“扫描型检查装置”及“全表面检查型检查装置”的现有例子。

厚度检查装置因随时间变化引起的放射线源头部的恶化、检测器的灵敏度变化、环境变化(季节或早晚等的温度·湿度等的周期性变化)等，检查精度恶化。因此，上述“扫描型检查装置”及“全表面检查型检查装置”中任意一种厚度检查装置，都必须在暂时取下检查对象物，使来自放射线源头部的放射线成为直接照射到检查器头的状态下，进行校正。

进行连续生产的生产线的全长为几十至一百几十米左右，无法在生产过程中将检查对象物(生产物)容易地取下。因此，例如生产品种的更换，或者由于生产停顿检查对象物间歇的时刻，认为是最佳时机。但是，近年来，为了提高生产效率，在进行生产品种的更换的情况下，大多使用虚拟板联接更换前后的品种，从而检查对象物不间歇地进行生产。在进行这种生产的情况下，因为放射线源头部与检测器头部后之间始终存在检查对象物或虚拟板，所以进行准确的校正很困难。

在这里，对于上述“扫描型检查装置”及“全表面检查型检查装置”的任意一种厚度检查装置，如果设置不经由检查对象物或虚拟板，而使放射线源头部和检测器头部相对的退避位置，则在检查对象物不间歇的情况下，也可以进行准确的校正。对于“扫描型检查装置”，因为放射线源头部及检测器头部小型，不需要很大的退避位置，所以设置退避位置进行校正是现实的。但是，对于“全表面检查型检查装置”，因为具有与检查对象物宽度大致相同长度的检测器头部，所以必需与检查对象物宽度大致相同长度的退避位置。在实际的生产现场，为了缩短工时，大多尽量缩短装置的间隔而配置，所以确保具有与检查对象物宽度大致相同长度的退避位置是不现实的。

发明内容

本发明提供一种即使在射线源和线型检测器之间配置检查对象物等的状态下，也可以高精度地进行校正的放射线检查装置。

本发明的放射线检查装置，在使用放射线对检查对象物进行检查的放射线检查装置上，其特征在于，具有：放射线源，其配置在上述检查对象物的一侧，向上述检查对象物照射线状的放射线，该线状的放射线沿在上述检查对象物上设定的检查方向延伸；线型检测器，其配置在上述检查对象物的另一侧，检测穿过上述检查对象物的线状的放射线；校正用检测器，其配置在上述放射线源与上述检查对象物之间及上述检查对象物与上述线型检测器之间的至少一处，一边沿上述检查方向移动，一边检测来自上述放射线源的放射线；以及校正装置，其使用上述校正用检测器的检测结果，校正上述线型检测器的检测结果。