[发明专利]端电极形成方法及使用其的压电/电致伸缩元件制造方法

权利要求书

1.一种端电极形成方法，其为在形成于陶瓷表面的、由包含玻璃成分的电极材料构成的电极的表面上通过镀覆形成用于连接导线的端电极的端电极形成方法，

该端电极形成方法包含以下工序：使用pH6～8的镀液，在所述电极的表面上通过镀覆形成第一镀金层的第一镀金层形成工序；在所述第一镀金层的表面上通过镀覆形成镀镍层的镀镍层形成工序；以及在所述镀镍层的表面上通过镀覆形成第二镀金层的第二镀金层形成工序。

2.根据权利要求1所述的端电极形成方法，其特征在于，在所述第一镀金层形成工序及第二镀金层形成工序中，作为所述镀液，使用采用了亚硫酸金络合物的电镀液。

3.一种压电/电致伸缩元件制造方法，其包括以下工序：制造由陶瓷的压电/电致伸缩材料构成的压电/电致伸缩膜的压电/电致伸缩膜制造工序；在该压电/电致伸缩膜的两面中的至少一面上形成由包含玻璃成分的电极材料构成的电极的电极形成工序；使用权利要求1或2所述的端电极形成方法来形成端电极的端电极形成工序。