[发明专利]固体摄像器件、固体摄像器件的制造方法和摄像装置

权利要求书

1.一种固体摄像器件，所述固体摄像器件包括：

半导体基板，所述半导体基板具有形成有进行光电转换的光电二极管的有效区域和被遮光膜遮蔽的光学黑区域；

第一膜，所述第一膜形成于所述有效区域上，并且在所述第一膜中层叠有至少一层具有负固定电荷的层；以及

第二膜，所述第二膜形成于所述光学黑区域上，并且在所述第二膜中层叠有至少一层具有负固定电荷的层，

其中，在所述第一膜中形成的层的数量不同于在所述第二膜中形成的层的数量。

2.根据权利要求1所述的固体摄像器件，

其中，所述第一膜包括：

第一层，所述第一层是使用原子层沉积法或金属有机化学气相沉积法在所述半导体基板上形成的，

第二层，所述第二层是使用原子层沉积法或金属有机化学气相沉积法在所述第一层上形成的，以及

第三层，所述第三层是使用物理气相沉积在所述第二层上形成的，并且

其中，所述第二膜包括：

第一层，所述第一层是使用原子层沉积法或金属有机化学气相沉积法在所述半导体基板上形成的，以及

第二层，所述第二层是使用物理气相沉积在所述第一层上形成的。

3.根据权利要求1所述的固体摄像器件，

其中，所述第一膜包括：

第一层，所述第一层是使用原子层沉积法或金属有机化学气相沉积法在所述半导体基板上形成的，以及

第二层，所述第二层是使用物理气相沉积在所述第一层上形成的，并且

其中，所述第二膜包括：

第一层，所述第一层是使用原子层沉积法或金属有机化学气相沉积法在所述半导体基板上形成的，

第二层，所述第二层是使用物理气相沉积在所述第一层上形成的，以及

第三层，所述第三层是使用原子层沉积法或金属有机化学气相沉积法在所述第二层上形成的。

4.根据权利要求1所述的固体摄像器件，

其中，所述第一膜包括：

第一层，所述第一层是使用原子层沉积法或金属有机化学气相沉积法在所述半导体基板上形成的，以及

第二层，所述第二层是使用物理气相沉积在所述第一层上形成的，以及

第三层，所述第三层是使用原子层沉积法或金属有机化学气相沉积法在所述第二层上形成的，并且

其中，所述第二膜包括：

第一层，所述第一层是使用原子层沉积法或金属有机化学气相沉积法在所述半导体基板上形成的。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的固体摄像器件，其中，

组成所述第一膜和所述第二膜的层是由氧化铪膜、氧化铝膜、氧化锆膜、氧化钽膜和氧化钛膜中的任一种形成的。

6.一种制造固体摄像器件的方法，所述方法包括以下步骤：

在半导体基板中形成有效区域和被遮光膜遮蔽的光学黑区域，所述有效区域中形成有进行光电转换的光电二极管；

在所述有效区域上形成第一膜，在所述第一膜中层叠有至少一层具有负固定电荷的层；以及

在所述光学黑区域上形成第二膜，在所述第二膜中层叠有至少一层具有负固定电荷的层，并且形成于所述第二膜中的层的数量不同于形成于所述第一膜中的层的数量。

7.一种摄像装置，所述摄像装置包括：

根据权利要求1～5中任一项所述的固体摄像器件；

光学系统，所述光学系统使被拍摄物体的图像在所述固体摄像器件上成像；

驱动单元，所述驱动单元生成使所述固体摄像器件进行操作的驱动脉冲；以及

信号处理电路，所述信号处理电路对来自所述固体摄像器件的输出图像信号进行处理。