[发明专利]一种新型超纯衬里磁力反应釜搅拌轴用防污染托盘

权利要求书

1.一种新型超纯衬里磁力反应釜搅拌轴用防污染托盘，其特征在于：包括托盘本体和设置在托盘本体中间位置的轴孔（5）。

2.根据权利要求1所述的新型超纯衬里磁力反应釜搅拌轴用防污染托盘，其特征在于：所述托盘本体的下端面设置有连接装置。

3.根据权利要求1所述的新型超纯衬里磁力反应釜搅拌轴用防污染托盘，其特征在于：所述托盘本体包括托盘（1）和设置在托盘底端面上的托盘架（2）；所述托盘架（2）底部与连接装置连接。

4.根据权利要求3所述的新型超纯衬里磁力反应釜搅拌轴用防污染托盘，其特征在于：所述托盘（1）包括两个半圆托盘，其中一个半圆托盘的外径和另外一个半圆托盘的内径是相同的；所述直径小的半圆托盘插入到直径大的半圆托盘中并通过螺栓（3）连接；所述两个半圆托盘的中心位置设置有通孔，通孔与轴孔（5）等大并且圆心在同一垂直的直线上。

5.根据权利要求4所述的新型超纯衬里磁力反应釜搅拌轴用防污染托盘，其特征在于：所述连接装置为抱箍（4）。

6.根据权利要求3所述的新型超纯衬里磁力反应釜搅拌轴用防污染托盘，其特征在于：所述连接装置为对称安装在托盘架（2）底部的紧固螺栓（6）。