[发明专利]一种新型超纯衬里磁力反应釜搅拌轴用防污染托盘

说明书

技术领域

本发明属于托盘装置，具体地说，涉及一种新型超纯衬里磁力反应釜搅拌轴用防污染托盘。

背景技术

随着半导体电子化学品行业的发展，超纯电子化学品设备被越来越广泛的选用，由于电子化学品的金属离子及其他杂质控制的要求，反应釜搅拌轴的支承轴承或轴套在运转时很难避免有磨损或油污掉入反应釜内，这会严重影响到反应釜内化学介质的纯净度，特别对于超纯要求的磁力反应釜，对于金属离子要求达到PPb级或更高的PPt级别，绝对不允许有任何的杂质混入到反应釜内的化学介质中。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服上述缺陷，提供一种结构简单、能够完全避免杂质混入反应釜化学介质内的新型超纯衬里磁力反应釜搅拌轴用防污染托盘。

为解决上述问题，本发明所采用的技术方案是：

一种新型超纯衬里磁力反应釜搅拌轴用防污染托盘，其特征在于：包括托盘本体和设置在托盘本体中间位置的轴孔。

所述托盘本体的下端面设置有连接装置。

作为一种改进：

所述托盘本体包括托盘和设置在托盘底端面上的托盘架；所述托盘架底部与连接装置连接。

所述托盘包括两个半圆托盘，其中一个半圆托盘的外径和另外一个半圆托盘的内径是相同的；所述直径小的半圆托盘插入到直径大的半圆托盘中并通过螺栓连接；所述两个半圆托盘的中心位置设置有通孔，通孔与轴孔等大并且圆心在同一垂直的直线上。

作为进一步地改进：

所述连接装置装置连接为抱箍。

作为更进一步改进：

所述连接装置为对称安装在托盘架底部的紧固螺栓。

由于采用了上述技术方案，与现有技术相比，本发明为安装在反应釜内搅拌轴上的防污染托盘，防污染托盘分为一体式和分体式两种样式，并且都是套接在搅拌轴上，并通过连接装置固定在搅拌轴上。本发明用于避免磨损下来的支承轴承或轴套残渣或者或油污掉入反应釜中，特别对于超纯要求的磁力反应釜，对于金属离子要求达到PPb级或更高的PPt级别，保证不会有任何的杂质混入反应釜化学介质内，保证了反应釜化学介质内的纯度。

同时下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步说明。

附图说明  

图1为本发明一种实施例的结构示意图；

图2为图1的俯视图；

图3为本发明另一种实施例的结构示意图。

图中：1-托盘；2-托盘架；3-螺栓；4-抱箍；5-轴孔；6-紧固螺栓。

具体实施方式

实施例1：

如图1、图2所示，一种新型超纯衬里磁力反应釜搅拌轴用防污染托盘，包括托盘本体和设置在托盘本体中间位置的轴孔5。轴孔5的直径大小与反应釜内搅拌轴的直径是一致的，方便托盘1安装在搅拌轴上，并且具有良好的密封效果。

在本实施例中，所述托盘本体包括托盘1和设置在托盘底端面上的托盘架2。所述托盘架底部与连接装置连接。

托盘1包括两个半圆托盘，其中一个半圆托盘的外径和另外一个半圆托盘的内径是相同的。所述直径小的半圆托盘插入到直径大的半圆托盘中并通过螺栓3连接。所述两个半圆托盘的中心位置有通孔，通孔与轴孔5等大并且圆心在同一垂直的直线上。

所述托盘本体的下端面设置有连接装置，在本实施例中，连接装置为抱箍4。

使用时，先将轮箍4固定在搅拌轴上距离釜盖5-20mm的位置，然后将两个半圆托盘扣到搅拌轴上，并且通过螺栓将轮箍4与两个半圆托盘固定连接，最后再通过螺栓3将两个半圆托盘连接，组成完整的托盘。

分体式防污染托盘结构稍显复杂，但对于清洁托盘却非常容易，无需拆除釜盖、搅拌轴，可直接通过反应釜上预留的孔进入清洁。

本发明能够避免磨损下来的支承轴承或轴套残渣或者或油污掉入反应釜中，特别对于超纯要求的磁力反应釜，对于金属离子要求达到PPb级或更高的PPt级别，保证不会有任何的杂质混入反应釜化学介质内，保证了反应釜化学介质内的纯度。

实施例2：

如图3所示，一种新型超纯衬里磁力反应釜搅拌轴用防污染托盘，包括托盘本体和设置在托盘本体中间位置的轴孔5。轴孔5的直径大小与反应釜内搅拌轴的直径是一致的，方便托盘1安装在搅拌轴上，并且具有良好的密封效果。

在本实施例中，所述托盘本体包括托盘1和设置在托盘底端面上的托盘架2。所述托盘架底部与连接装置连接。在本实施例中，连接装置为对称安装在托盘架2底部的紧固螺栓6。由此能够看出，本实施例为一体式的，一体式结构简单，成本低，效果好。