[发明专利]化学气相沉积机台

权利要求书

1.一种化学气相沉积机台，包括标准机械界面、前端部分、机械手臂、缓存处、缓冲区和沉积腔体，其中所述标准机械界面是晶片进入机台的开始位置，所述前端部分一端连接标准机械界面另一端连接缓存处，所述前端部分设有风机过滤机组，所述风机过滤机组包括风扇，所述风扇过滤前端部分的空气，所述缓冲区连接所述缓存处，所述沉积腔体与缓冲区相连接，所述机械手臂用于传输标准机械界面、缓存处和沉积腔体之间的晶片，其特征在于：所述风机过滤机组还包括一个用于检测风扇工作状态的检测装置。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积机台，其特征在于：所述检测装置包括压力传感器，所述压力传感器用于检测前端部分内的正压力。

3.根据权利要求2所述的化学气相沉积机台，其特征在于：所述压力传感器连接一蜂鸣器。

4.根据权利要求2所述的化学气相沉积机台，其特征在于：所述压力传感器为正压力传感器。