[发明专利]一种可实现均匀稳定显影的显影机喷淋装置

权利要求书

1.一种可实现均匀稳定显影的显影机喷淋装置，包括有复数个喷管，其特征在于：所述显影机喷淋装置在垂直显影机传送方向上设置有双重控制，即摇摆的摇摆控制和喷嘴的扇面喷液控制。

2.如权利要求1所述的可实现均匀稳定显影的显影机喷淋装置，其特征在于：所述摇摆的摇摆控制为：将安装有喷嘴的喷盘固定在一个垂直于传送方向的轨道上，喷盘由一个偏心轮带动，偏心轮上装有电动机；显影机开机后，电动机启动，带动偏心轮运动，偏心轮带动喷盘做往复运动，摇摆自动开始，溶液喷起，摇摆是沿垂直于基板前行方向，整个喷盘作往复运动，使整个基板各个地方都能接受到相同的喷淋压力。

3.如权利要求1所述的可实现均匀稳定显影的显影机喷淋装置，其特征在于：所述喷盘上设置有若干相互平行且平行于显影机传送方向的喷管，所述喷管上等间距设置有喷嘴，相邻两个喷管上喷嘴的位置相互错开，且错开位置一致；显影机工作时，所述显影机的喷嘴喷出来的溶液形状呈扇面，且扇面垂直于显影机传送方向。

4.如权利要求2或3所述的可实现均匀稳定显影的显影机喷淋装置，其特征在于：所述喷嘴安装在每个平行喷管上，喷管固定在喷盘上，喷盘边上有喷管进液，显影开机后整个喷盘开始摆动。

5.如权利要求4所述的可实现均匀稳定显影的显影机喷淋装置，其特征在于：显影机开启后，电动机启动，泵开始运转，泵从储液槽中泵出溶液，由喷嘴喷出；喷嘴喷出的溶液形成一个个的扇面，随着摇摆的运动，喷出的扇面溶液来回的扫动。

6.如权利要求5所述的可实现均匀稳定显影的显影机喷淋装置，其特征在于：显影基板从喷盘的前端进入时，扇面溶液来回扫动，将基板上能溶于显影液的未曝光干膜溶解，进入溶液中，不溶于显影液的曝光干膜留在基板上，形成所需要的图形。

7.如权利要求6所述的可实现均匀稳定显影的显影机喷淋装置，其特征在于：通过调整喷嘴与芯模的距离L、扇面的角度θ、相邻两喷嘴的距离S以及喷盘的摇摆频率可以控制显影机显影能力。

8.如权利要求7所述的可实现均匀稳定显影的显影机喷淋装置，其特征在于：显影机工作时，相邻喷管上喷嘴喷出的扇面溶液喷淋区域边缘之间设置有一定程度的重合部分。