[发明专利]一种可实现均匀稳定显影的显影机喷淋装置

说明书

 

技术领域

本发明属于印刷掩模板的显影技术领域，尤其涉及一种可实现均匀稳定显影的显影机喷淋装置。

 

背景技术

随着电子行业发展的日益加快，印刷线路掩膜板的应用领域越来越广泛，这也相应的要求其相关的工艺能满足日益更新的发展需求。

印刷线路板模板制作常采用基板贴干膜→曝光→显影→电铸的工艺流程进行制作，电铸模板开口孔壁光滑，尺寸精密，模板使用中下锡良好。高质量的电铸板要求有高质量的显影图形转移，显影过程中要求显影能力均匀稳定，显影能力不稳定容易出现一部分区域图形干膜过显或显影不足，电铸过程中会出现渗镀，导致制作的电铸模板开口不光滑，有毛刺，影响产品质量。

喷淋是显影过程中一个重要的步骤，对显影能力均匀稳定有着极大的影响。目前现有技术中的喷嘴一般是矩阵式的排布，每根喷管上喷嘴均匀等间距按相同的规律排列，相邻喷管的喷嘴排布无交错，当喷液为大角度扇形时，相邻两喷管上的相邻两喷嘴喷出的显影液会出现碰撞现象，会影响喷液的局部压力。

故，针对目前现有技术中喷嘴存在的缺陷，有必要对显影机喷淋装置进行研究，提供一种方案，以解决上述现有技术中存在的缺陷。

 

发明内容

为解决上述问题，本发明的目的在于提供一种可实现均匀稳定显影的显影机喷淋装置，其通过对显影机喷嘴的排布方式进行调整，使显影机具备均匀稳定的显影能力。

为实现上述目的，本发明的技术方案为：

一种可实现均匀稳定显影的显影机喷淋装置，包括有复数个喷管，其中，所述显影机喷淋装置在垂直显影机传送方向上设置有双重控制，即摇摆的摇摆控制和喷嘴的扇面喷液控制。

进一步地，所述摇摆的摇摆控制为：将安装有喷嘴的喷盘固定在一个垂直于传送方向的轨道上，喷盘由一个偏心轮带动，偏心轮上装有电动机；显影机开机后，电动机启动，带动偏心轮运动，偏心轮带动喷盘做往复运动，摇摆自动开始，溶液喷起，摇摆是沿垂直于基板前行方向，整个喷盘作往复运动，使整个基板各个地方都能接受到相同的喷淋压力。

进一步地，所述喷盘上设置有若干相互平行且平行于显影机传送方向的喷管，所述喷管上等间距设置有喷嘴，相邻两个喷管上喷嘴的位置相互错开，且错开位置一致；显影机工作时，所述显影机的喷嘴喷出来的溶液形状呈扇面，且扇面垂直于显影机传送方向。

本发明影机喷淋装置在垂直显影机传送方向上采用双重控制方式，即摇摆的摇摆控制及喷嘴的扇面喷液控制，使得显影液在垂直于显影机传送方向上喷洒更加均匀，从而到达显影机显影能力稳定均匀的效果。

 

附图说明

图1是本发明影机喷淋装置的组合图示。

图2是本发明影机喷淋装置的喷管图示。

图3是本发明的显影机工作时喷液管喷液正面图示（沿图1中A-A′方向）。

 

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

本发明显影机喷淋装置在垂直显影机传送方向上设置有双重控制，即摇摆的摇摆控制和喷嘴的扇面喷液控制。其中，摇摆的摇摆控制为：将装有喷嘴的喷盘固定在一个垂直于传送方向的轨道上，喷盘由一个偏心轮带动，偏心轮上装有电动机。显影机开机后，电动机启动，带动偏心轮运动，偏心轮带动喷盘做往复运动。摇摆自动开始，溶液喷起，摇摆是沿垂直于基板前行方向，整个喷盘作往复运动，使整个基板各个地方都能接受到相同的喷淋压力。而喷嘴的扇面喷液控制是通过喷嘴的特殊设计来达到的，当喷液达到一定压力后，喷嘴喷淋出的液体为扇面，通过调节压力可以控制扇面的扇面角。通过该双重控制方式，使得显影液在垂直于显影机传送方向上喷洒更加均匀，从而到达显影机显影能力稳定均匀的效果。