[发明专利]显示面板的阵列基板结构及其制作方法

说明书

技术领域

本发明是关于一种显示面板的阵列基板结构及其制作方法，尤指一种可避免走线区的走线在制作过程中受损的显示面板的阵列基板结构及其制作方法。

背景技术

显示面板的阵列基板结构的基板主要可区分为显示区、走线区与连接垫区三大区块，其中显示区内设置有栅极线、数据线、像素阵列与薄膜晶体管等元件，走线区内设置有走线，用以将栅极线及数据线电性连接至连接垫区，而连接垫区则可供驱动晶片或电路板焊接，借此驱动晶片或电路板可经由走线提供驱动讯号至栅极线与数据线。

一般而言，显示面板的阵列基板结构的制作方法包括多道的蚀刻工艺，以定义出导电层、半导体层、介电层与保护层等膜层的图案。然而，在蚀刻某一材料层时，常无可避免的对暴露出的下层图案造成伤害，例如在蚀刻保护层时，可能会造成保护层下方已形成的走线的损伤，如此将使得显示面板的阵列基板结构的合格率无法进一步提升。

发明内容

本发明的目的之一在于提供一种显示面板的阵列基板结构及其制作方法，以提升显示面板的阵列基板结构的合格率与可靠度。

为达到上述目的，本发明提供一种制作显示面板的阵列基板结构的方法，包括下列步骤。提供一基板，且基板包括一显示区与一走线区。在基板上形成一第一图案化导电层，且第一图案化导电层包括多条栅极线、多个栅极与多条第一栅极转接线，其中栅极线位于显示区，栅极位于显示区，第一栅极转接线位于走线区，且第一栅极转接线与部分的栅极线电性连接。在第一图案化导电层上形成一第一图案化绝缘层，其中第一图案化绝缘层具有多个第一接触洞，分别部分暴露出部分栅极线。于第一图案化绝缘层上形成一第二图案化导电层，且第二图案化导电层包括多条数据线、多个源极与多个漏极与多条第二栅极转接线。数据线位于显示区，源极与漏极位于显示区，且第二栅极转接线经由第一接触洞而与暴露出的部分栅极线电性连接。于第二图案化导电层上形成一图案化半导体层与一第二图案化绝缘层。图案化半导体层包括多个半导体通道层以及多个第一保护图案，其中半导体通道层位于显示区并分别设置于对应的栅极之上，而第一保护图案至少部分位于走线区并设置于对应的第二栅极转接线之上。第二图案化绝缘层包括多个后通道保护层与多个第二保护图案，其中后通道保护层位于显示区并设置于对应的半导体通道层之上，而第二保护图案至少部分位于走线区并分别设置于对应第一保护图案之上。于图案化第二导电层上形成一第一图案化保护层与一第二图案化保护层，其中第一图案化保护层与第二图案化保护层暴露出各第二保护图案，且第一图案化保护层与第二图案化保护层具有多个第二接触洞，分别暴露出漏极。于第二图案化保护层上形成一第一图案化透明导电层。

为达到上述目的，本发明提供一种制作显示面板的阵列基板结构的方法，其中该基板另包括一连接垫区，该第一图案化透明导电层另包括多个连接垫，位于该连接垫区且分别与各该第一栅极转接线以及各该第二栅极转接线电性连接。

为达到上述目的，本发明提供一种制作显示面板的阵列基板结构的方法，其中该基板另包括一连接垫区，该第一图案化绝缘层具有多个第三接触洞，分别部分暴露出各该第一栅极转接线，该第二图案化导电层另包括多个转接电极，分别与暴露出的各该第一栅极转接线电性连接，该第一图案化透明导电层另包括多个连接垫，位于该连接垫区，分别与各该转接电极以及各该第二栅极转接线电性连接。

为达到上述目的，本发明提供一种制作显示面板的阵列基板结构的方法，另包括：于该第一图案化透明导电层上形成一第三图案化保护层；以及于该第三图案化保护层上形成一第二图案化透明导电层。

为达到上述目的，本发明提供一种制作显示面板的阵列基板结构的方法，其中该基板另包括一连接垫区，该第一图案化绝缘层具有多个第三接触洞，分别部分暴露出各该第一栅极转接线，该第二图案化导电层另包括多个转接电极，分别与暴露出的各该第一栅极转接线电性连接，该第三图案化保护层具有多个第四接触洞，分别部分暴露出各该转接电极与各该第二栅极转接线，该第二图案化透明导电层另包括多个连接垫，位于该连接垫区，各该连接垫分别经由各该第四接触洞而与各该转接电极以及各该第二栅极转接线电性连接。

为达到上述目的，本发明提供一种制作显示面板的阵列基板结构的方法，其中该第一图案化透明导电层包括多个共通电极，设置于该显示区内，该第二图案化透明导电层包括多个像素电极，设置于该显示区内，各该像素电极分别与对应的该漏极电性连接，且各该像素电极具有多个条状开口(slit)。