[发明专利]阻垢缓蚀剂

权利要求书

1.一种阻垢缓蚀剂，包括有机膦酸盐，无机阻垢缓蚀组分、含羧酸共聚物，锌盐，杂环化合物，荧光示踪组分，其特征在于：其组分为：有机膦酸盐为2-膦酸丁烷-1，2，4-三膦酸和2-羟基膦酰基乙酸中一种或两种，无机阻垢缓蚀组分为钼酸钠，含羧酸共聚物为水解聚马来酸酐和丙烯酸-氨基三甲叉膦酸-丙烯酸酸三元聚合物中一种或两种，锌盐为硫酸锌和氯化锌中一种或两种，杂环化合物为甲基苯并三氮唑，荧光示踪组分为羧基磺基萘二甲酰亚胺。

2.根据权利要求1所述的阻垢缓蚀剂，其特征在于：其组分及质量份数为：

2-膦酸丁烷-1，2，4-三膦酸8～12份；

钼酸钠2.5～5份；

水解聚马来酸酐2份；

硫酸锌5～10份；

甲基苯并三氮唑0.5～1份；

羧基磺基萘二甲酰亚胺0.2份。

3.根据权利要求1所述的阻垢缓蚀剂，其特征在于：其组分及质量份数比为：

2-羟基膦酰基乙酸2～4份；

钼酸钠2.5～5份；

丙烯酸-氨基三甲叉膦酸-丙烯酸酸三元聚合物10～20份；

氯化锌5～10份；

甲基苯并三氮唑0.5～1份；

羧基磺基萘二甲酰亚胺0.2份。

4.一种阻垢缓蚀剂，包括有机膦酸盐，无磷阻垢缓蚀组分，无机阻垢缓蚀组分、含羧酸共聚物，锌盐，杂环化合物，荧光示踪组分，其特征在于：其组分为：有机膦酸盐为2-膦酸丁烷-1，2，4-三膦酸和2-羟基膦酰基乙酸中一种或两种，无磷阻垢缓蚀组分为聚天冬氨酸和聚环氧琥珀酸中一种或两种，无机阻垢缓蚀组分为钼酸钠，含羧酸共聚物为水解聚马来酸酐和丙烯酸-氨基三甲叉膦酸-丙烯酸酸三元聚合物中一种或两种，杂环化合物为甲基苯并三氮唑，荧光示踪组分为羧基磺基萘二甲酰亚胺。

5.根据权利要求4所述的阻垢缓蚀剂，其特征在于：其组分及质量份数比为：

2-膦酸丁烷-1，2，4-三膦酸8～12份；

聚天冬氨酸10～20份；

钼酸钠2.5～5份；

水解聚马来酸酐2份；

硫酸锌5～10份；

甲基苯并三氮唑0.5～1份；

羧基磺基萘二甲酰亚胺0.2份。

6.根据权利要求4所述的阻垢缓蚀剂，其特征在于：其组分及质量份数比为：

2-膦酸丁烷-1，2，4-三膦酸8～12份；

聚环氧琥珀酸10～20份；

钼酸钠2.5～5份；

丙烯酸-氨基三甲叉膦酸-丙烯酸酸三元聚合物10～20份；

氯化锌5～10份；

甲基苯并三氮唑0.5～1份；

羧基磺基萘二甲酰亚胺0.2份。

7.一种阻垢缓蚀剂，包括无磷阻垢缓蚀组分，无机阻垢缓蚀组分、含羧酸共聚物，锌盐，杂环化合物，荧光示踪组分，其特征在于：其组分为：无磷阻垢缓蚀组分为聚天冬氨酸和聚环氧琥珀酸中一种或两种，无机阻垢缓蚀组分为钼酸钠，含羧酸共聚物为水解聚马来酸酐和丙烯酸-氨基三甲叉膦酸-丙烯酸酸三元聚合物中一种或两种，杂环化合物为甲基苯并三氮唑，荧光示踪组分为羧基磺基萘二甲酰亚胺。

8.根据权利要求7所述的阻垢缓蚀剂，其特征在于：其组分及质量份数比为：

聚天冬氨酸或聚环氧琥珀酸10～20份；

钼酸钠2.5～5份；

水解聚马来酸酐2份；

硫酸锌5～10份；

甲基苯并三氮唑0.5～1份；

羧基磺基萘二甲酰亚胺0.2份。

9.根据权利要求7所述的阻垢缓蚀剂，其特征在于：其组分及质量份数比为：

聚天冬氨酸或聚环氧琥珀酸10～20份；

钼酸钠2.5～5份；

水解聚马来酸酐2份；

丙烯酸-氨基三甲叉膦酸-丙烯酸酸三元聚合物10～20份；

硫酸锌5～10份；

甲基苯并三氮唑0.5～1份；

羧基磺基萘二甲酰亚胺0.2份。

10.根据权利要求8所述的阻垢缓蚀剂，其特征在于：其组分及质量份数比为：

聚天冬氨酸20份；

钼酸钠2.5～5份；

水解聚马来酸酐2份；

硫酸锌5～10份；

甲基苯并三氮唑0.5～1份；

羧基磺基萘二甲酰亚胺0.2份。

11.根据权利要求9所述的阻垢缓蚀剂，其特征在于：其组分及质量份数比为：

聚环氧琥珀酸20份；

钼酸钠2.5～5份；

水解聚马来酸酐2份；

丙烯酸-氨基三甲叉膦酸-丙烯酸酸三元聚合物10～20份；

硫酸锌5～10份；

甲基苯并三氮唑0.5～1份；

羧基磺基萘二甲酰亚胺0.2份。