[发明专利]用于捡拾物品并使其污染最小化的真空式捡拾组件

权利要求书

1.一种用于捡拾物品并使其污染最小化的真空式捡拾组件，所述组件包含：

末端执行器，其经配置接触所述物品，所述末端执行器连接至真空段和净化段；

所述真空段包含：

真空过滤器，其气动地连接至所述末端执行器；以及

真空源，其气动地连接至第一过滤器，以及在捡拾模式下，其经配置在预选真空压强下于所述末端执行器产生真空压强，从而捡拾和保持所述物品；

所述净化段包含：

净化过滤器，其气动地连接至所述末端执行器；以及

净化源，其气动地连接至第二过滤器，以及在释放模式中，所述净化源经配置在预选的净化压强下，于所述末端执行器处排出净化气，从而释放所述物品。

2.根据权利要求1所述的组件，其中所述净化气包含氮气。

3.根据权利要求1所述的组件，其中所述净化气包含惰性气体。

4.根据权利要求3所述的组件，其中所述净化气包含选自由下列气体构成的组中的气体：氦、氖、氩、氪和氙。

5.根据权利要求1所述的组件，还包括在所述第一过滤器和所述末端执行器之间气动地连接的流量传感器，并且其经配置测量经受所述真空压强的周围气体的流速。

6.根据权利要求1所述的组件，其中所述预选的真空压强大约为80千帕。

7.根据权利要求1所述的组件，其中所述预选净化压强大约为2巴。

8.根据权利要求1所述的组件：

其中所述真空过滤器包含微粒过滤器，以及

其中所述净化过滤器包含微粒过滤器。

9.根据权利要求8所述的组件，其中所述真空过滤器经配置过滤大约为0.1微米或更大的微粒。

10.根据权利要求8所述的组件，其中所述净化过滤器经配置过滤大约为0.01微米或更大的微粒。

11.根据权利要求8所述的组件，其中所述真空过滤器经配置在周围气体中移除污染物，其中所述周围气体经受所述真空压强并因此流向真空源。

12.根据权利要求8所述的组件，其中所述净化过滤器经配置在所述净化气被排出前，在其中移除污染物。

13.根据权利要求1所述的组件，其中所述物品包含用于磁性存储装置的滑动器。