[发明专利]半导体封装结构及其制造方法无效
申请号: | 201210076345.6 | 申请日: | 2012-03-21 |
公开(公告)号: | CN102569274A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 金锡奉;李瑜镛 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L25/00 | 分类号: | H01L25/00;H01L23/488;H01L23/31;H01L21/60;H01L21/56 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陆嘉 |
地址: | 中国台湾高雄市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 封装 结构 及其 制造 方法 | ||
技术领域
本发明关于一种半导体封装结构及其制造方法,详言之,关于一种堆栈式半导体封装结构及其制造方法。
背景技术
已知堆栈式半导体封装结构具有一上封装结构、一下封装结构及多个焊球。这些焊球位于该下封装结构的基板上。该上封装结构的下表面接触这些焊球,以电性连接至该下封装结构。在该已知堆栈式半导体封装结构中,这些焊球为球状,因此二个焊球间的间距无法有效缩小,否则容易发生桥接(Bridge)的问题,进而造成短路的情况。
因此,有必要提供一种半导体封装结构及其制造方法,以解决上述问题。
发明内容
本发明提供一种半导体封装结构,其包括一第一基板、一第一管芯、一第一封胶、一第二基板及至少一导通柱。该第一基板具有一上表面及一下表面。该第一管芯邻接于该第一基板的上表面,且电性连接至该第一基板的上表面。该第一封胶包覆该第一管芯及该第一基板的上表面。该第二基板具有一上表面及一下表面,该第二基板的下表面黏附于该第一封胶上。该导通柱贯穿该第一基板、该第一封胶及该第二基板。
在本发明中,该导通柱用以作为垂直方向电性连接的组件。由于该导通柱的外径比已知焊球小,因此可缩小彼此间距且增加密度。
本发明另提供一种半导体封装结构的制造方法,其包括以下步骤:(a)提供一第一基板,该第一基板具有一上表面及一下表面;(b)附着一第一管芯于该第一基板的上表面,且电性连接该第一管芯至该第一基板的上表面;(c)形成一第一封胶以包覆该第一管芯及该第一基板的上表面;(d)提供一第二基板,该第二基板具有一上表面及一下表面,且黏附该第二基板的下表面于该第一封胶上;(e)形成至少一贯穿孔以贯穿该第一基板、该第一封胶及该第二基板;及(f)形成一导电金属于该至少一贯穿孔内以形成至少一导通柱。
附图说明
图1显示本发明半导体封装结构的一实施例的示意图;及
图2至图10显示本发明半导体封装结构的制造方法的一实施例的示意图。
具体实施方式
参考图1,显示本发明半导体封装结构的一实施例的示意图。该半导体封装结构1包括一第一基板10、一第一管芯12、多条第一导线13、一第一封胶14、一第二基板16、一第二管芯18、多条第二导线19、一第二封胶20、至少一导通柱22、一中间胶层24及多个焊球26。
该第一基板10,例如一有机基板,具有一上表面101、一下表面102、至少一第一上焊垫103及至少一第一下焊垫104。该至少一第一上焊垫103邻接于该第一基板10的上表面101,该至少一第一下焊垫104邻接于该第一基板10的下表面102。
该第一管芯12邻接于该第一基板10的上表面101,且电性连接至该第一基板10的上表面101。在本实施例中,该第一管芯12利用一第一胶层121黏附于该第一基板10的上表面101,且利用这些第一导线13电性连接至该第一基板10的上表面101。然而,在其它实施例中,该第一管芯12利用倒装焊方式电性连接至该第一基板10的上表面101。
该第一封胶14包覆该第一管芯12、这些第一导线13及该第一基板10的上表面101。该中间胶层24位于该第一封胶14的上表面,其中该中间胶层24的表面积实质上等于该第一封胶14的上表面的表面积。
该第二基板16,例如一有机基板,具有一上表面161、一下表面162、至少一第二上焊垫163及至少一第二下焊垫164。该第二基板16的下表面162利用该中间胶层24黏附于该第一封胶上14。该至少一第二上焊垫163邻接于该第二基板16的上表面161,该至少一第二下焊垫164邻接于该第二基板16的下表面162。
该第二管芯18邻接于该第二基板16的上表面161,且电性连接至该第二基板16的上表面161。在本实施例中,该第二管芯18利用一第二胶层181黏附于该第二基板16的上表面161,且利用这些第二导线19电性连接至该第二基板16的上表面161。然而,在其它实施例中,该第二管芯18利用倒装焊方式电性连接至该第二基板16的上表面161。
该第二封胶20包覆该第二管芯18、这些第二导线19及该第二基板16的上表面161。
该至少一导通柱22贯穿该第一基板10、该第一封胶14及该第二基板16。在本实施例中,该至少一导通柱22的材质为铜,其贯穿该至少一第一上焊垫103、该至少一第一下焊垫104、该至少一第二上焊垫163及该至少一第二下焊垫164,且该至少一导通柱22的二端分别显露于该第一基板10的下表面102及该第二基板16的上表面161。
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