[发明专利]一种惯量少移动质量轻的直驱取放装置无效
| 申请号： | 201210076448.2 | 申请日： | 2012-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN103325724A | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 林浩元;廖永平;周朝渊;魏潇春 | 申请（专利权）人： | 雅科贝思精密机电(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201202 上海市浦东新区川*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 惯量 移动 质量 直驱取放 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种惯量少移动质量轻的直驱取放装置，包括直驱旋转电机和音圈电机，其特征在于，所述直驱旋转电机包括定子、转子和反馈装置，所述转子设置于定子外侧，所述反馈装置设置于转子外侧，所述音圈电机包括定子和设置于定子内的动子，所述直驱旋转电机的定子的中心设置有安装孔，所述音圈电机的定子设置于安装孔内，并且音圈电机的定子上设置有定子安装面，所述定子安装面通过螺栓连接在直驱旋转电机的定子上。
2.根据权利要求1所述一种惯量少移动质量轻的直驱取放装置，其特征在于，所述音圈电机的定子的外径小于直驱旋转电机的定子上的安装孔的直径。
3.根据权利要求2所述一种惯量少移动质量轻的直驱取放装置，其特征在于，所述音圈电机的定子与直驱旋转电机的定子上的安装孔的轴心为同一直线。
4.根据权利要求1所述一种惯量少移动质量轻的直驱取放装置，其特征在于，还包括用于连接被取放物品的连接件，所述连接件包括固定模块和移动模块，所述固定模块上设置有轨道，所述移动模块设置于轨道上，所述固定模块连接在直驱旋转电机的转子上，所述音圈电机的动子连接移动模块。
5.根据权利要求4所述一种惯量少移动质量轻的直驱取放装置，其特征在于，所述音圈电机的动子的顶端设置有动子安装面，所述移动模块通过螺丝连接固定在动子的动子安装面上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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