[发明专利]一种惯量少移动质量轻的直驱取放装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种直驱取放装置，特别是涉及一种惯量少移动质量轻的直驱取放装置。

背景技术

直驱旋转电机和音圈电机目前广泛的应用于电子元件和半导体设备制造中。采用直接驱动的主要优点是加速度更大、速度更快、精度更高、移动质量减小、设计简洁，无需复杂的传输系统，可靠性更高，不存在传动装置活动部件的磨损。

使用直驱旋转电机和音圈电机的直驱取放系统是TZ工作台常用的一种直驱取放系统类型，直驱旋转电机负责旋转运动，音圈电机负责垂直上下运动。整个系统的效率由直驱旋转电机和音圈电机运动所需的时间来决定的，而因为音圈电机所需的运动距离短，运动时间短，所以关键的因素还是在于直驱旋转电机的效率。现在所用的直驱取放系统，直驱旋转电机在运动时，带动整个音圈电机，包括固定机构一起在旋转，要提高整个系统的性能，除了需要提高直驱旋转电机本身的性能，还需改进其装配方式。

发明内容

本发明就是为了解决上述问题，克服现有技术中直驱取放装置所存在的问题，本发明提供一种惯量少移动质量轻的直驱取放装置以满足需求。

为了实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种惯量少移动质量轻的直驱取放装置，包括直驱旋转电机和音圈电机，其特征在于，所述直驱旋转电机包括定子、转子和反馈装置，所述转子设置于定子外侧，所述反馈装置设置于转子外侧，所述音圈电机包括定子和设置于定子内的动子，所述直驱旋转电机的定子的中心设置有安装孔，所述音圈电机的定子设置于安装孔内，并且音圈电机的定子上设置有定子安装面，所述定子安装面通过螺栓连接在直驱旋转电机的定子上。

上述一种惯量少移动质量轻的直驱取放装置，其特征在于，所述音圈电机的定子的外径小于直驱旋转电机的定子上的安装孔的直径。

上述一种惯量少移动质量轻的直驱取放装置，其特征在于，所述音圈电机的定子与直驱旋转电机的定子上的安装孔的轴心为同一直线。

上述一种惯量少移动质量轻的直驱取放装置，其特征在于，还包括用于连接被取放物品的连接件，所述连接件包括固定模块和移动模块，所述固定模块上设置有轨道，所述移动模块设置于轨道上，所述固定模块连接在直驱旋转电机的转子上，所述音圈电机的动子连接移动模块。

上述一种惯量少移动质量轻的直驱取放装置，其特征在于，所述音圈电机的动子的顶端设置有动子安装面，所述移动模块通过螺丝连接固定在动子的动子安装面上。

本发明的有益效果是：本装置采用的都是直驱电机，不使用任何传导装置直接驱动负载。本系统采用的装配结构，有效的减轻了直驱旋转电机运动时的负载，减少了惯量，从而提高了直驱旋转电机的功效，同样提高了整个系统的效率。

附图说明

图1是直驱旋转电机的示意图；

图2是音圈电机的示意图；

图3是直驱旋转电机和音圈电机的组装示意图；

图4是直驱旋转电机和音圈电机的组装后剖视图；

图5为连接件的示意图；

图6为本发明与连接件装配后的剖视图。

具体实施方式

为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本发明。

参看图1，一种惯量少移动质量轻的直驱取放装置，包括直驱旋转电机100和音圈电机200，直驱旋转电机100带动被取放物品沿旋转方向旋转，音圈电机200则带动被取放物品沿垂直方向平移。

直驱旋转电机100包括定子110、转子120和反馈装置130，转子120设置于定子110外侧，反馈装置130设置于转子120外侧，工作的时候，转子120在定子110的作用下旋转，反馈装置130用于记录转子120的旋转位置。

参看图2，音圈电机200包括定子210和设置于定子210内的动子220，工作的时候，动子220在定子210的作用下沿着定子210内的孔道上下运动。

参看图3和图4，直驱旋转电机100的定子110的中心设置有安装孔140，音圈电机200的定子210设置于安装孔140内，并且音圈电机200的定子210上设置有定子安装面230，定子安装面230通过螺栓连接在直驱旋转电机100的定子110上，这样的装配将直驱旋转电机100和音圈电机200组合起来。