[发明专利]分离方法及分离装置

权利要求书

1.一种分离方法，其特征在于，从至少含有氢氟酸、氟氢化铵、氟硅酸铵及水的混酸中，分别分离出所述氢氟酸和所述氟氢化铵，其包括：

第一蒸馏工序，通过对所述混酸进行蒸馏，从而回收含有所述氢氟酸及水的第一液体以作为馏出液，并回收含有所述氟氢化铵及所述氟硅酸铵的第二液体以作为残留液；

第二蒸馏工序，通过对所述第一液体进行蒸馏，从而从所述第一液体中主要分离出所述水，进而回收与所述第一液体相比所述氢氟酸的浓度较高的第三液体以作为残留液；

结晶工序，从所述第二液体中使含有所述氟氢化铵及所述氟硅酸铵的第一固体结晶；

析出工序，使所述第一固体溶解在含有氨和水性溶剂的液体中而析出沉淀物，从而得到含有所述沉淀物的第三液体；

固体回收工序，从所述第三液体中去除所述沉淀物与过剩的氨和水，从而得到含有所述氟氢化铵的固体成分。

2.如权利要求1所述的分离方法，其中，

在所述析出工序中，使所述氨发生反应，以使所述氨相对于所述氟氢化铵及所述氟硅酸铵的化学当量比在1.0至3.0的范围内。

3.如权利要求1或2所述的分离方法，其中，

在所述析出工序中，对液温进行调节，以使所述第三液体成为室温。

4.如权利要求1或2所述的分离方法，其中，

在所述析出工序中，通过如下方法中的至少某一种方法来得到第三液体，即，准备将所述氨溶解在所述水性溶剂中而得到的液体，并使所述第一固体溶解在该液体中的方法，或者，准备将所述第一固体溶解在所述水性溶剂中而得到的液体，并使气体的所述氨与该液体接触并溶解的方法。

5.如权利要求1所述的分离方法，其中，

将所述第二蒸馏工序中的所述第一液体的加热温度设为，低于所述第一蒸馏工序中的所述混酸的加热温度的设定温度。

6.如权利要求1或2所述的分离方法，其中，

所述混酸为，通过对含有硅的材料进行蚀刻处理而产生的蚀刻废液。

7.一种分离装置，其特征在于，

应用了权利要求1或2所述的分离方法。