[发明专利]集成电路的连接件结构有效
申请号: | 201210078637.3 | 申请日: | 2012-03-22 |
公开(公告)号: | CN103066053B | 公开(公告)日: | 2018-06-15 |
发明(设计)人: | 杜尚耘;庄曜群;曾明鸿;郭正铮;陈承先 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/522 | 分类号: | H01L23/522 |
代理公司: | 北京德恒律师事务所 11306 | 代理人: | 陆鑫;房岭梅 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金属焊盘 金属柱 连接件结构 衬底 集成电路 钝化层 种管 对准 覆盖 | ||
1.一种半导体器件,包括:
管芯,包括:
衬底;
第一金属焊盘,位于所述衬底的上方;
钝化层,覆盖所述第一金属焊盘的边缘部分;
聚合物层,位于所述钝化层上方;
第一金属柱,位于所述第一金属焊盘的上方,其中,所述第一金属柱的一部分与所述第一金属焊盘的一部分重叠,以及其中,所述第一金属柱的中心不与所述第一金属焊盘的中心对准;
金属层,形成在所述第一金属柱上并且所述金属层的边缘与所述第一金属柱的边缘对准;
焊料罩盖,形成在所述金属层上;
凸块底部金属化层(UBM),与所述第一金属柱共末端,并且所述凸块底部金属化层的边缘与所述第一金属柱的相应边缘对准,其中所述凸块底部金属化层包括位于所述聚合物层上方的第一部分、以及延伸至所述聚合物层和所述钝化层中以与所述第一金属焊盘连接的第二部分;以及
封装部件,包括接合至所述焊料罩盖的附加金属焊盘,其中,所述附加金属焊盘的中心不与所述第一金属柱的中心对准。
2.根据权利要求1所述的半导体器件,其中,相对于所述第一金属焊盘的中心,所述第一金属柱的中心偏离所述管芯的中心。
3.根据权利要求2所述的半导体器件,其中,所述第一金属焊盘和所述第一金属柱位于所述管芯的边缘区域中,其中,所述边缘区域与所述管芯的边缘相邻,以及其中,所述第一金属柱的中心在垂直于所述边缘的方向上偏移。
4.根据权利要求2所述的半导体器件,其中,所述第一金属焊盘和所述第一金属柱位于所述管芯的边角区域中,其中,所述边角区域与所述管芯的边角相邻,以及其中,所述第一金属柱的中心在与所述管芯的中心和所述边角之间的线平行的方向上偏移。
5.根据权利要求1所述的半导体器件,进一步包括:
第二金属焊盘,位于所述衬底的上方;以及
第二金属柱,位于所述第二金属焊盘的上方,其中,所述第二金属柱的一部分与所述第二金属焊盘的一部分重叠,以及其中,所述第二金属柱的中心与所述第二金属焊盘的中心对准。
6.根据权利要求5所述的半导体器件,其中,所述第二金属焊盘和所述第二金属柱位于所述管芯的内部区域中,并且比所述第一金属焊盘和所述第一金属柱更加接近所述管芯的中心。
7.根据权利要求1所述的半导体器件,其中,所述第一金属焊盘和所述第一金属柱中的每一个都具有长轴和短于所述长轴的短轴。
8.根据权利要求1所述的半导体器件,其中,所述凸块底部金属化层位于所述第一金属焊盘和所述第一金属柱之间并接触所述第一金属焊盘和所述第一金属柱。
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