[发明专利]半导体产品生产方法及系统

权利要求书

1.一种半导体产品生产方法，其特征在于，包括以下步骤：

对半导体产品进行生产，并测试；

若检测到所述半导体产品存在异常，则对异常进行分析，确定导致异常的设备；

发出控制信号自动将所述异常的设备关闭。

2.根据权利要求1所述的半导体产品生产方法，其特征在于，还包括通过电子工作流发出异常通知的步骤，具体为：

触发提醒并接收异常信息输入；

扫描遗漏的异常信息并提示，得到全部所需异常信息；

根据所述全部所需异常信息生成异常通知；

将所述异常通知通过电子工作流发送至预设对象。

3.根据权利要求2所述的半导体产品生产方法，其特征在于，还包括：

记录并存储异常原因和所采取的解决措施。

4.根据权利要求1所述的半导体产品生产方法，其特征在于，还包括如下步骤：

对所述异常的设备进行检测和调试；

将检测和调试后的设备投入试生产，得到试生产的半导体产品；

测试所述试生产的半导体产品，获取半导体产品的参数；

将试生产的半导体产品的参数与合格参数进行比较，判断所述试生产的半导体产品是否合格，如果产品合格，则恢复对半导体产品正常的生产和测试；如果产品不合格，则继续对设备进行检测和调试。

5.根据权利要求1所述的半导体产品生产方法，其特征在于，所述发出控制信号自动将所述异常的设备关闭的步骤是：

读取异常设备当前生产信息，判断所述异常的设备是否处于生产状态，如果处于生产状态，则等一批次产品生产结束后发出控制信号将所述异常的设备关闭；如果处于非生产状态，则直接发出控制信号将所述异常的设备关闭。

6.一种半导体产品生产系统，其特征在于，包括：

生产模块，包括若干生产设备，用于对半导体产品进行生产；

检测模块，与所述生产模块相连接，用于对半导体产品进行测试，检测半导体产品是否发生异常；

分析模块，与所述检测模块相连接，用于当异常发生时，对异常进行分析，确定导致异常的设备；

管控模块，与所述生产模块及分析模块相连接，用于发出控制信号自动将所述异常的设备关闭。

7.根据权利要求6所述的半导体产品生产系统，其特征在于，所述管控模块还用于触发提醒并接收异常信息输入，扫描遗漏的异常信息并提示，得到全部所需异常信息，根据所述全部所需异常信息生成异常通知，并将所述异常通知通过电子工作流发送至预设对象。

8.根据权利要求7所述的半导体产品生产系统，其特征在于，还包括存储模块，所述存储模块与管控模块相连接，用于记录并存储异常原因和所采取的解决措施。

9.根据权利要求6所述的半导体产品生产系统，其特征在于，所述生产模块还用于在对所述异常的设备进行检测和调试之后对产品进行试生产，得到试生产的半导体产品；

所述检测模块还用于测试所述试生产的半导体产品，获取半导体产品的参数，将试生产的半导体产品的参数与合格参数进行比较，判断所述试生产的半导体产品是否合格，如果产品合格，则恢复对半导体产品正常的生产和测试；如果产品不合格，则继续对设备进行检测和调试。

10.根据权利要求6所述的半导体产品生产系统，其特征在于，所述管控模块具体用于读取异常设备当前生产信息，判断所述异常的设备是否处于生产状态，如果处于生产状态，则等一批次产品生产结束后发出控制信号将所述异常的设备关闭；如果处于非生产状态，则直接发出控制信号将所述异常的设备关闭。