[发明专利]一种非破坏性检测表面形貌的方法

权利要求书

1.一种非破坏性检测表面形貌的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

1)将紫外感光材料涂覆在待测物体的表面；

2)采用紫外光照射使所述紫外感光材料固化，然后将固化后的紫外感光材料剥离，得到拓印膜；

3)使用原子力显微镜扫描所述拓印膜，得到拓印膜的表面形貌；

4)将所述拓印膜的表面形貌进行数据翻转，得到待测物体的表面形貌。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤1)中的所述紫外感光材料包含低聚物、光引发剂和稀释剂；所述低聚物为有机硅、脂环族环氧化合物、丙烯酸酯和乙烯基醚中的一种或多种，优选为甲基丙烯酸甲酯；优选地，所述低聚物在所述紫外感光材料占94～97wt％。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，步骤1)中的所述紫外感光材料通过以下步骤制得：将94～97重量份的低聚物、1～2重量份的光引发剂和1～5重量份的稀释剂混合，以400～600r/min的速度搅拌10～15分钟，然后将混合液置于干燥器中并抽真空，放置2～3h，得到所述紫外感光材料。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，所述光引发剂为芳香酮，优选为安息香。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其特征在于，所述稀释剂为酮或煤油，优选为C₃～C₁₂烷酮，更优选为丙酮、丁酮和环己酮中的一种或多种。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其特征在于，步骤1)中的所述紫外感光材料的涂覆厚度为0.3～0.7mm。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其特征在于，步骤2)中，所述紫外光的波长为365nm；优选地，固化时间为480～500s。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的方法，其特征在于，步骤3)中，所述原子力显微镜的扫描范围为50μm×50μm。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的方法，其特征在于，在步骤1)之前，还包括使用清洁剂洗涤待测物体的表面的步骤；优选地，所述清洁剂为C₁～C₁₂烷醇或C₃～C₁₂烷酮，优选为乙醇或丙酮。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的方法，其特征在于，步骤4)中使用计算机软件对拓印膜的表面形貌进行数据翻转。