[发明专利]致动器、光扫描仪以及图像形成装置

权利要求书

1.一种致动器，其特征在于，具有：

可动部，该可动部能够绕摆动轴摆动；

连结部，该连结部从上述可动部延伸出来，且伴随上述可动部的摆动而扭转变形；以及

支承部，该支承部支承上述连结部，

上述可动部形成为从上述可动部的厚度方向观察时呈十字状，

上述连结部的与上述摆动轴垂直的剖面形成为，该连结部的宽度从上述可动部的第一表面朝向与上述第一表面对置的第二表面逐渐增加的形状。

2.根据权利要求1所述的致动器，其特征在于，

上述观察时的上述可动部的外形主要由与上述摆动轴平行的线和与上述摆动轴垂直的线构成。

3.根据权利要求1或2所述的致动器，其特征在于，

上述可动部、上述支承部以及上述连结部，通过各向异性蚀刻硅基板而形成。

4.根据权利要求3所述的致动器，其特征在于，

上述可动部的第二表面由硅的100面构成。

5.根据权利要求3或4所述的致动器，其特征在于，

上述可动部的侧面主要由硅的111面构成。

6.根据权利要求5所述的致动器，其特征在于，

在上述可动部的侧面形成有槽，该槽在与上述可动部的第二表面正交的剖面上呈V字状。

7.根据权利要求3至6中任意一项所述的致动器，其特征在于，

上述连结部的表面由硅的100面以及111面构成。

8.根据权利要求1至7中任意一项所述的致动器，其特征在于，

上述连结部具有2个梁状的梁部件。

9.根据权利要求8所述的致动器，其特征在于，

上述梁部件的与上述摆动轴垂直的剖面形成为平行四边形，

上述2个梁部件间的距离从上述可动部的上述第一表面朝向上述第二表面逐渐增加。

10.根据权利要求1所述的致动器，其特征在于，

上述连结部的与上述摆动轴垂直的剖面形成为梯形。

11.根据权利要求1至10中任意一项所述的致动器，其特征在于，

上述可动部形成为在上述观察时相对于上述摆动轴对称的形状。

12.根据权利要求1至11中任意一项所述的致动器，其特征在于，

上述可动部形成为在上述观察时相对于通过上述可动部的中心且与上述摆动轴垂直的线对称的形状。

13.一种致动器，其特征在于，具有：

可动部，该可动部能够绕摆动轴摆动；

连结部，其从上述可动部延伸出来，且随着上述可动部的摆动而扭转变形；以及

支承部，其支承上述连结部，

上述可动部形成为从上述可动部的厚度方向观察时，将四方形的四个角的部分分别去掉了矩形而成的形状，

上述连结部的与上述摆动轴垂直的剖面形成为，该连结部的宽度从上述可动部的第一表面朝向与上述第一表面对置的第二表面逐渐增加的形状。

14.一种光扫描仪，其特征在于，具有：

可动部，该可动部能够绕摆动轴摆动且具备具有光反射性的光反射部；

连结部，该连结部从上述可动部延伸出来，且伴随上述可动部的摆动而扭转变形；以及

支承部，该支承部支承上述连结部，

上述可动部形成为从上述可动部的厚度方向观察时呈十字状，

上述连结部的与上述摆动轴垂直的剖面形成为，该连结部的宽度从上述可动部的第一表面朝向与上述第一表面对置的第二表面逐渐增加的形状。

15.一种光扫描仪，其特征在于，具有：

可动部，该可动部能够绕摆动轴摆动且具备具有光反射性的光反射部；

连结部，该连结部从上述可动部延伸出来，且伴随上述可动部的摆动而扭转变形；以及

支承部，该支承部支承上述连结部，

上述可动部形成为从上述可动部的厚度方向观察时，将四方形的四个角的部分分别去掉了矩形而成的形状，

上述连结部的与上述摆动轴垂直的剖面形成为，该连结部的宽度从上述可动部的第一表面朝向与上述第一表面对置的第二表面逐渐增加的形状。