[发明专利]致动器、光扫描仪以及图像形成装置

说明书

技术领域

本发明涉及致动器、光扫描仪以及图像形成装置。

背景技术

作为致动器，公知有使用了扭转振子的致动器(例如，参照专利文献1)。

例如，在专利文献1中公开了光偏转器，其具有可动板(可动部)、支承架(支承部)、以及将可动板支承为相对支承架能够扭转转动(摆动)的1对弹性支承部(连结部)，各弹性支承部由2根棒(梁部件)构成。

这样的可动板、支承架以及1对弹性支承部通过对主面由硅的(100)面构成的硅基板进行各向异性蚀刻而一体形成。

另外，在专利文献1的光偏转器中，可动板形成为俯视呈八边形。形成这样的俯视形状的可动板存在能够使偏离转动(摆动)轴的位置的可动板的重量减小，并能够减小惯性力矩的优点。

但俯视形状呈八边形的可动板存在制造困难的问题。特别是这样的可动板在使用上述的各向异性蚀刻来制造的情况下，由于可动板与结晶面的关系，而存在形状控制难，形状的差别大的问题。

专利文献1：日本专利特开201079243号公报

发明内容

本发明的目的在于提供致动器、光扫描仪以及图像形成装置，它们在制造中的可动部的形状差别与以往相比减小，从而能够减小可动部摆动时的惯性力矩。

这样的目的通过下述的本发明实现。

在本发明的致动器中，其特征在于，具有：可动部，其能够绕摆动轴进行摆动；连结部，其从上述可动部延伸出来，且伴随上述可动部的摆动而扭转变形；以及支承部，其支承上述连结部，上述可动部形成为从上述可动部的厚度方向观察时呈十字状，上述连结部的与上述摆动轴垂直的剖面形成为，该连结部的宽度从上述可动部的第一表面朝向与上述第一表面对置的第二表面逐渐增加的形状。

根据这样的本发明的致动器，能够减小制造中的可动部的形状差别，减小可动部摆动时的惯性力矩。

在本发明的致动器中，优选上述观察时的上述可动部的外形主要由与上述摆动轴平行的线和与上述摆动轴垂直的线构成。

由此，能够减小制造中的可动部的形状差别。

在本发明的致动器中，优选上述可动部、上述支承部以及上述连结部通过各向异性蚀刻硅基板而形成。

由此，减小形状差别，从而能够容易地形成可动部、支承部以及连结部。

在本发明的致动器中，优选上述可动部的第二表面由硅的(100)面构成。

由此，对第二表面由(100)面构成的硅基板进行各向异性蚀刻，从而使形状差别减小，能够容易地形成可动部、支承部以及连结部。

在本发明的致动器中，优选上述可动部的侧面主要由硅的(111)面构成。

由此，对板面由(100)面构成的硅基板进行各向异性蚀刻，从而能够将硅的(111)面作为蚀刻的停止层利用，使形状差别减小，从而容易地形成可动部、支承部以及连结部。

在本发明的致动器中，优选在上述可动部的侧面形成有槽，该槽在与上述可动部的第二表面正交的剖面上呈V字形。

由此，能够减小可动部的惯性力矩。而且，对第二表面由(100)面构成的硅基板进行各向异性蚀刻，从而能够将硅的(111)面作为蚀刻的停止层来利用，减小形状差别，容易地形成可动部。

在本发明的致动器中，优选上述连结部的表面由硅的(100)面以及(111)面构成。

由此，能够将硅的(111)面作为蚀刻的停止层来利用，减小形状差别，容易地形成连结部。

在本发明的致动器中，优选上述连结部具有2个梁状的梁部件。

由此，由于能够使连结部的长度变短，因此，能够使设备整体的大小变小。

在本发明的致动器中，优选上述梁部件的与上述摆动轴垂直的剖面形成为平行四边形，上述2个梁部件间的距离从上述可动部的上述第一表面朝向上述第二表面逐渐增加。

这样的连结部，通过对硅基板进行各向异性蚀刻，能够与观察时形状为十字状或者形成为将四方形的四个角去掉了矩形而成的形状的可动部一起容易地形成。

在本发明的致动器中，优选上述连结部的与上述摆动轴垂直的剖面形成为梯形。

这样的连结部，通过对硅基板进行各向异性蚀刻，能够与观察时形状为十字状或者形成为将四方形的四个角去掉矩形而成的形状的可动部一起容易地形成。

在本发明的致动器中，优选上述可动部形成为在上述观察时相对于上述摆动轴对称的形状。

由此，能够使可动部的重心位于可动部的摆动轴上，并能够使可动部的摆动顺畅。